Sicheres und rückstandsfreies Bonden

Temporäres Bonden

SUSS temporäre Wafer-Bonding-Lösungen schützen empfindliche Wafer während komplexer, mehrstufiger Prozesse und ermöglicht rückstandsfreies Debonden in kritischen Phasen.

DSC0991.webp

Bonding für komplexe Arbeitsabläufe

Sichere Waferverarbeitung in komplexen Arbeitsabläufen: Unsere temporären Bondlösungen ermöglichen einfaches, rückstandsfreies Debonden ohne Risiko für Ihre Wafer.

Top-Produkte

Entdecken Sie die Top-Produkte aus unserem Portfolio für temporäres Bonden.

XBC300 Gen2

Vielseitige, bei Raumtemperatur arbeitende Debonding- und Reinigungsplattform, die für die Anforderungen von 2,5D- und 3D-Integrationsprozessen entwickelt wurde.
Mehr erfahren
XBC300 Gen2 debonder and cleaner platform by SUSS
vollautomatisch

XBS300

Automatisierte Lösung für das temporäre Bonden von ausgerichteten 200 mm- und 300 mm-Wafern.
Mehr erfahren
XBS300_Temp-800x600 (1).png
vollautomatisch

DB12T

Hochmoderne Lösung für mechanisches Peel-off-Debonding bei Raumtemperatur, perfekt geeignet für eine Vielzahl von Dünnwafer-Anwendungen.
Mehr erfahren
DB12T-1600x1200 (1).png
halbautomatisch

Wichtigste Vorteile

Flexible Trägerkompatibilität

Für eine maximale Prozessflexibilität in der fortschrittlichen Halbleiter- und MEMS-Fertigung ermöglichen unsere Lösungen das sichere Bonden von dünnen oder besonders empfindlichen Wafer mit verschiedenen Trägervarianten.

Sauberes Debonden

SUSS bietet eine sichere Bondhaftung in mehrstufigen Prozessabläufen kombiniert mit branchenführendem, rückstandsfreien Debonden, speziell entwickelt für kontaminationsempfindliche Wafer.

Nahtlose mehrstufige Verarbeitung

Fortschrittlichste Integrationsabläufe von Wafer-Ausdünnung über Lithografie bis zu Packaging-Schritten laufen reibungslos und gewährleisten nahtlose Übergänge zwischen Materialien und Prozessstufen, selbst in hochkomplexen oder variantenreichen Fertigungsumgebungen.

DSC07494_highRes (2).webp

Intelligente Messtechnik für optimale Qualität

Die intelligenten Messfunktionen der temporären Bond-Plattformen verbessern die Sicherheit und optimieren die Prozesskontrolle. Indem Waferverzug erkannt und die Ausrichtung vor dem Debonden überprüft wird, schützen die Systeme vor Schäden, sichern höchste Genauigkeit und gewährleisten maximalen Ausbeute in modernen Halbleiter-Workflows.

Überprüfung der Ausrichtung

Nach dem Bonden wird die Integrität der Ausrichtung überprüft, um sicherzustellen, dass sie für die weitere Verarbeitung bereit ist.
DSC07479.jpg

Downloads

Suchen Sie nach weiteren Details? Bitte klicken Sie unten, um unsere Produktpräsentation mit ausführlichen Produktinformationen herunterzuladen.