코팅 솔루션

높은 지형용 AS8 수동 스프레이 코터

까다로운 지형에서 패터닝: AS8 수동 스프레이 코터는 최대 200mm의 기판과 최대 6인치 가장자리 길이의 정사각형 기판의 R&D 및 소량 생산에 이상적인 솔루션입니다. 이 컴팩트한 시스템은 스마트한 사용성과 SUSS' 코팅 기술을 결합하여 균일하고 재현 가능한 코팅을 제공합니다.

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일관되고 안정적인 코팅 - 어떤 지형에서도 가능

AS8은 가장 까다로운 3D 구조물에도 균일한 컨포멀 레지스트 증착을 제공합니다. 프로그래밍 가능한 스프레이 코팅 및 세척 파라미터를 원활하게 통합하고 복잡한 코팅을 간소화하며 수율을 향상시키는 이 모든 기능을 R&D 및 소량 제조를 위해 설계된 컴팩트한 설치 공간에서 구현할 수 있습니다.

복잡한 형상을 위한 완벽한 코팅

가장 까다로운 표면 구조에서도 안정적으로 패턴화: AS8의 정밀 스프레이 기술은 극한의 지형을 극복하고 복잡한 기판에서 균일한 레이어 형성을 가능하게 합니다.

탁월한 코팅 균일성

트렌치에 레지스트가 쌓이는 것을 방지하는 정밀한 에지 커버리지로 컨포멀 코팅을 제공하여 전체 기판에서 깨끗한 라인과 일관된 미세 구조 보호를 보장합니다.

독점적인 스프레이 디자인

배치마다 일관되고 신뢰할 수 있는 결과를 얻을 수 있도록 설계된 SUSS의 독점적인 스프레이 설계가 제공하는 공정 안정성과 반복성을 활용하면 까다로운 연구 및 파일럿 생산에 이상적입니다.

AS8 수동 스프레이 코터의 주요 특징

완벽하게 구성 가능한 코팅 성능

AS8은 특히 연구 및 파일럿 생산을 위해 기판 수준에서 유연성과 정밀성을 제공하도록 설계되었습니다. 정교한 레지스트 공급 시스템과 프로그래밍 가능한 레시피를 통해 모든 일반적인 웨이퍼 및 기판 형식에 대한 맞춤형 공정 제어와 향후 원활한 확장이 가능합니다.

기판 유연성

최대 6인치의 원형 및 사각 플레이트 모두에 대해 변화하는 요구 사항에 즉시 적응: Ø150mm 및 Ø200mm 기판용 듀얼 노즐 모드 또는 Ø3'', Ø100mm, Ø150mm 및 Ø200mm 기판용 단일 노즐을 선택합니다.

고급 스프레이 노즐이 장착된 고정밀 X/Y 스테이지

최대 45mm의 정밀한 Z축 조정 범위와 67.5mm~107.5mm의 노즐 조정으로 맞춤형 공정 형상을 구현할 수 있습니다. AS8은 최대 500mm/s의 스프레이 축 속도와 최대 9m/s²의 가속도를 통해 정밀한 코팅과 재현성을 제공합니다. 듀얼 스프레이 노즐과 별도의 솔벤트 노즐을 통해 정밀하고 유연한 세척과 빠른 레시피 실행이 가능합니다.