코팅 솔루션

ECD8 반자동 코터 또는 현상액기

ECD8은 최대 200mm 기판을 위한 하나의 컴팩트한 시스템에 유연성, 안전성, 사용 편의성을 결합한 제품입니다. 맞춤형 구성이 가능한 코터 또는 현상액으로 사용할 수 있는 이 시스템은 R&D 및 소규모 생산 모두에 이상적인 선택입니다.

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손쉬운 제어

손쉬운 웨이퍼 센터링부터 완벽한 공정 가시성까지 모든 세부 사항이 워크플로우를 간소화하고 공간을 절약하며 작업자가 일상적인 작업에서 안전하게 작업할 수 있도록 맞춤 설계된 ECD8의 스마트한 디자인을 경험해 보세요.

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한 손 조작

간단한 회전 노브와 슬립 클러치로 웨이퍼를 빠르고 정확하게 센터링할 수 있습니다. 센터링 장치는 모든 원형 웨이퍼 크기를 범용적으로 커버하므로 복잡한 조정 없이도 일관된 얼라인먼트(Alignment)가 보장됩니다.

컴팩트한 디자인, 작은 설치 공간

간편한 설치, 보존된 클린룸 공간: 미디어 캐비닛이 통합되어 있어 필요한 모든 미디어가 시스템 내부에 직접 하우징됩니다. 외부 캐비닛을 추가로 설치할 필요 없이 깔끔한 올인원 설정의 이점을 누릴 수 있습니다.

완벽한 프로세스 가시성

360° 투명 후드를 통해 전체 프로세스를 항상 선명하게 볼 수 있습니다. 작업자는 모든 단계를 실시간으로 모니터링하여 워크플로우를 중단하지 않고도 자신감을 갖고 제어할 수 있습니다.

업계 최고의 안전 표준

ECD8에는 최고의 안전 기능이 기본으로 장착되어 있습니다. 따라서 작업자와 피사체 모두를 최대한 보호하여 모든 작업에서 안심하고 작업할 수 있습니다.

사용하기 쉬운 인터페이스

직관적인 기호 기반 인터페이스로 초보 사용자도 쉽게 조작할 수 있습니다. 간단한 탐색과 명확한 프로세스 제어를 통해 교육 노력을 최소화하고 생산성을 극대화할 수 있습니다.

ECD8 반자동 코터 또는 현상액의 주요 특징

일관된 고품질 결과물

ECD8은 다양한 공정에 정밀한 제어 기능을 제공합니다. 빠른 스핀 속도, 강력한 가속, 프로그래밍 가능한 레시피, 최대 4,000CP의 레지스트 지원으로 신뢰할 수 있는 재현 가능한 결과를 보장합니다.

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최대 8,000rpm의 회전 속도, 최대 10,000rpm/s의 가속도

최대 8,000rpm의 스핀 속도로 균일한 코팅을 달성합니다. 최대 10,000rpm/s의 가속을 지원하는 ECD8은 다양한 응용 분야에 이상적인 빠르고 제어된 코팅 동역학을 제공합니다.

최대 4,000cps의 점도

광범위한 점도 범위 처리: ECD8은 최대 2개의 검증된 디스펜스 라인과 펌프 구성으로 1cps 미만에서 4000cps에 이르는 재료 점도를 처리할 수 있습니다.

200가지 맞춤 레시피

시간 절약, 작업 간소화, 반복성 보장: 하나의 시스템에 각각 40단계씩 최대 200개의 레시피를 저장하여 반복 가능하고 효율적인 워크플로우를 구현할 수 있습니다.

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