鍍膜解決方案

ECD8 半自動化塗布機或顯影液平台

ECD8 集靈活性、安全性和易用性於一身，適用於最大 200 mm 的基板。此系統可提供客製化配置的塗布機或顯影液，是研發與小規模生產的理想選擇。

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輕鬆控制

體驗 ECD8 的智慧型設計：從輕鬆的晶圓對中到完整的製程可視性，每個細節都是為了簡化工作流程、節省空間，以及確保操作人員在日常操作中的安全而量身打造。

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單手操作

只需簡單的旋鈕和滑動離合器，即可快速、準確地將晶圓對中。由於定心裝置普遍涵蓋所有圓形晶圓尺寸，因此可確保一致的對準，無需進行複雜的調整。

設計精巧、佔地面積小

安裝簡易，節省無塵室空間：由於整合式介質櫃，所有需要的介質都直接封装在系統的壳体内。不需要額外的外部機櫃，操作人員就可以從整潔的多合一安裝中獲益。

完整的流程可視性

360° 透明罩可隨時清楚看到整個製程。操作人員可以即時監控每個步驟，增加信心和控制力，而不會中斷工作流程。

領先業界的安全標準

ECD8 標準配備最高的安全功能。這可確保對操作員和基材的最大保護，讓您每次運轉都安心無憂。

易於使用的介面

以符號為基礎的直覺式介面，即使是新使用者也能直接操作。透過簡單的導覽和清晰的製程控制，本系統可將訓練工作減至最少，並將生產力提升至最高。

ECD8 半自動化塗布機或顯影液的主要特色

穩定、高品質的效果

ECD8 可為各種製程提供精確的控制。高旋轉速度、強大的加速度、可編程配方，以及支援高達 4,000 cp 的光刻膠，確保您可以信賴的再現結果。

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旋轉速度高達 8,000 rpm，加速度高達 10,000 rpm/s

以高達 8,000 rpm 的旋塗速度達到均勻的塗層。ECD8 的加速度高達 10,000 rpm/s，可提供快速、可控的塗層動態，是各種應用的理想選擇。

粘度高達 4,000 cps

加工粘度範圍廣：ECD8 最多可容納兩條經過驗證的點膠線和泵配置，適用於從 <1 cps 到 4000 cps 的材料粘度。

200 個自訂食譜

節省時間、簡化操作並確保可重複性：在一個系統中最多可儲存 200 個配方，每個配方包含 40 個步驟，以實現可重複的高效工作流程。

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