塗布ソリューション

ECD8 半自動コーター/現像液塗布装置

ECD8は、最大200mmまでの基板に対応し、柔軟性、安全性、使いやすさを兼ね備えたコンパクトな装置です。コーターとしても現像液としても使用でき、カスタマイズ可能な構成で、研究開発にも小規模生産にも理想的なシステムです。

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簡単コントロール

ECD8のスマートな設計を体験してください。ウェーハのセンタリングが容易で、プロセスが完全に見えるなど、細部に至るまでワークフローを簡素化し、スペースを節約し、オペレーターが安全に日常業務を行えるように調整されています。

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片手操作

シンプルなロータリーノブとスリップクラッチにより、ウェハーのセンタリングを素早く正確に行うことができます。このデバイスウェーハは、すべてのラウンドウェーハサイズをカバーするため、複雑な調整を必要とせず、一貫したアライメントが保証されます。

コンパクトデザイン、スモールフットプリント

設置が簡単で、クリーンルームのスペースを節約：統合メディアキャビネットにより、必要なメディアはすべてシステム内に直接ハウジングされます。外部キャビネットを追加することなく、オペレーターは整然としたオールインワンのセットアップが可能です。

プロセスの完全な可視化

360°透明フードにより、常にプロセス全体を鮮明に見ることができます。オペレーターはすべての工程をリアルタイムで監視でき、ワークフローを中断することなく、信頼性と制御性を高めることができます。

業界をリードする安全基準

ECD8は最高の安全装置を標準装備しています。これにより、オペレーターと基材の両方を最大限に保護し、毎回の作業に安心感を与えます。

使いやすいインターフェース

シンボルベースの直感的なインターフェースにより、初めてのユーザーでも簡単に操作できます。シンプルなナビゲーションと明確なプロセス制御により、システムはトレーニングの労力を最小限に抑え、生産性を最大化します。

ECD8半自動コーター/現像液の主な特長

安定した高品質の仕上がり

ECD8は、様々なプロセスを正確にコントロールします。高速スピン、パワフルな加速、プログラム可能なレシピ、最大4,000cpまでのレジスト対応により、信頼できる再現性の高い結果をお約束します。

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スピン速度 最大8,000 rpm、加速 最大10,000 rpm/s

最大8,000 rpmのスピン速度で均一なコーティングを実現。最大10,000 rpm/sの加速が可能なECD8は、幅広いアプリケーションに最適な高速で制御されたコーティングダイナミクスを実現します。

最大粘度4,000cps

幅広い粘度範囲に対応：ECD8は、<1 cps～4000 cpsの粘度の材料に対応するため、実績のあるディスペンスラインとポンプ構成を2つまで搭載することができます。

200のカスタムレシピ

時間を節約し、オペレーションを簡素化し、再現性を確保：1つのシステムに最大200レシピ、各40ステップを保存し、再現性のある効率的なワークフローを実現します。

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