镀膜解决方案

ECD8 半自动化涂布机或显影液机

ECD8 集灵活性、安全性和易用性于一体，结构紧凑，适用于最大 200 毫米的基片。该系统既可用作涂布机，也可用作显影液机，配置可定制，是研发和小规模生产的理想选择。

咨询专家
ECD8-1600x1200.png

轻松控制

体验 ECD8 的智能设计：从毫不费力的晶圆对中到全面的工艺可视性，每个细节都是为简化工作流程、节省空间和保证操作员日常操作安全而量身定制的。

DSC00075_highRes (1).jpg
单手操作

只需一个简单的旋转钮和滑动离合器，就能快速、准确地对晶片进行定心。由于定心装置普遍适用于所有尺寸的圆形晶圆，因此无需进行复杂的调整即可确保一致的对准。

设计紧凑，占地面积小

安装简单，节省洁净室空间：由于集成了介质柜，所有需要的介质都直接封装在系统壳体内。无需额外的外部机柜，操作员就能享受整洁的一体化安装。

完整的流程可见性

360° 透明罩可随时清楚地看到整个流程。操作员可以实时监控每个步骤，在不中断工作流程的情况下增强信心和控制力。

行业领先的安全标准

ECD8 标配最高级别的安全设备。这确保了对操作员和基材的最大保护，让您每次运行都高枕无忧。

易于使用的界面

基于符号的直观界面使操作简单明了，即使是新用户也能轻松上手。通过简单的导航和清晰的流程控制，该系统最大限度地减少了培训工作量，并最大限度地提高了生产率。

ECD8 半自动化涂布机或显影液机的主要特点

一致的高质量结果

ECD8 可对各种工艺进行精确控制。高旋转速度、强大的加速功能、可编程配方以及对高达 4,000 cp 光刻胶的支持，确保了可重复的结果，值得信赖。

IMG_6570_RGB_PPT.jpg
旋转速度高达 8,000 rpm，加速度高达 10,000 rpm/s

以高达 8,000 rpm 的旋涂速度获得均匀的涂层。ECD8 的加速度高达 10,000 rpm/s，可提供快速、可控的涂层动态，是各种应用的理想之选。

粘度高达 4,000 cps

处理粘度范围广：ECD8 最多可容纳两条经过验证的点胶线和泵配置，可处理粘度从 <1 cps 到 4000 cps 的物料。

200 种定制食谱

节省时间、简化操作并确保可重复性：在一个系统中最多可存储 200 个配方，每个配方有 40 个步骤，实现可重复的高效工作流程。

下载

想了解更多详情？请点击下面的链接下载技术数据表和产品介绍，了解更多产品信息。

Product Overview Brochure EN
PDF

相关 产品

了解我们的半自动化涂布机和显影液平台产品组合

ACS200 Gen3

适用于 100 - 200 毫米基底的自动涂布平台，具有无与伦比的多功能性，适用于研发和大批量生产。
了解更多
ACS200_Gen3-1600x1200.png
自动化

ACS200 Gen3 TE

ACS200 Gen3 TE 以 ACS200 Gen3 平台为基础，是专为 100 mm 至 200 mm 晶圆设计的增强型模块化系统。
了解更多
ACS200_Gen3_TE-1600x1200.png
自动化

随时了解：SUSS' 的最新动态

新闻稿、投资者关系新闻等：浏览我们的最新出版物，了解 SUSS' 的最新动态。

17/11/2025
SUSS presents ambitious plans for further sales growth and sustainable margin improvement at Capital Markets Day
Corporate News
CapitalMarketsDay_NewsTeaser_Small_642x362_16_9.jpg
06/11/2025
SUSS expects significant improvement in order momentum in the fourth quarter
Corporate News
QuarterlyFigures_NewsTeaser_Small_642x362_16_9.jpg
30/10/2025
New SUSS production site in Zhubei has officially opened
Corporate News
Zhubei_Opening_NewsTeaser_Small_642x362_16_9.jpg
07/08/2025
SUSS finishes first half of the year with significant sales growth
Corporate News