HMx 시리즈
R&D 및 까다로운 기판의 소규모 양산을 위한 최적의 솔루션: HMx 시리즈는 포토마스크, 광전자, OLED 및 특수 반도체 백엔드 애플리케이션을 위한 고품질 기판 공정과 특수 세정 기능을 작고 컴팩트한 설치 공간에서 제공합니다.
컴팩트한 클린룸 설계와 뛰어난 유연성: HMx 시리즈는 최첨단 현상액, 식각 및 세정 기능과 광범위한 서브스트레이트 핸들링(Substrate Handling)을 결합한 제품입니다. 자동화된 공정 단계를 통한 수동 로딩은 검증된 신뢰성을 보장하며, 최신 제어 및 고급 세척 기술은 민감한 기판에 대한 최고의 안전성을 제공합니다.
작업자 및 공정 안전성 극대화: HMx 시리즈는 안전한 화학물질 보관, 이중으로 구성된 디스펜스 시스템, 인체공학적 적재 공간을 통합하여 모든 단계에서 안전하게 핸들링할 수 있습니다.
어떤 환경에도 적합: 기본 캐비닛의 경우 설치 공간이 960×1120mm, 미디어 캐비닛의 경우 300×1070mm에 불과한 HMx 시리즈는 컴팩트한 디자인에 강력한 성능을 제공합니다.
반도체 시장의 요구에 맞춘 맞춤형 장비
혁신적인 디스펜싱 및 세척 기술을 갖춘 HMx 시리즈는 일관되고 결함 없는 결과를 제공합니다. 모듈식 설계로 다양한 공정 옵션을 지원하므로 파일럿 프로젝트나 소규모 생산 모두에 대한 엄격한 균일성 요구 사항과 다양한 응용 분야에 맞게 맞춤화할 수 있습니다.
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