코팅 솔루션

LabSpin 시리즈 스핀 코터 & 현상액 개발자

유연하고 정밀하며 안전합니다: LabSpin6 및 LabSpin8은 최대 150 및 200mm 웨이퍼를 위한 최신 세대의 수동 스핀 코터 및 현상액 시스템입니다. 실험실 및 R&D 환경을 위해 특별히 설계된 LabSpin 시리즈는 컴팩트한 설치 공간에서 다양한 포토리소그래피 화학 물질에 대해 균일하고 반복 가능한 결과를 제공합니다.

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수많은 가능성을 위한 하나의 시스템

빠른 프로토타이핑부터 고급 공정 현상액에 이르기까지 LabSpin6과 LabSpin8은 고객의 요구에 완벽하게 적응합니다. R&D가 발전함에 따라 웨이퍼 크기, 척, 코팅 옵션 및 추가 모듈을 구성할 수 있습니다. 컴팩트한 디자인과 지능형 기술을 갖춘 두 시스템은 공간을 적게 차지하며 정밀하고 반복 가능한 결과를 제공합니다.

웨이퍼 크기: 150mm~200mm

초기 단계 실험을 위한 소형 기판 또는 고급 R&D를 위한 풀사이즈 웨이퍼 생성: LabSpin6은 최대 150mm 원형 기판과 최대 100×100mm 정사각 기판을 지원하며, LabSpin8은 이 범위를 200mm 원형 또는 150×150mm 정사각까지 확장합니다. 이러한 유연성 덕분에 하나의 플랫폼에서 다양한 공정을 탐색할 수 있습니다.

높은 다양성의 척

다양한 척을 사용할 수 있는 LabSpin 시리즈는 다양한 기질, 심지어 파편과 특수한 모양에도 적응할 수 있습니다. 따라서 다양한 애플리케이션에서 타협을 줄이고 제한을 줄이며 더욱 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다.

필요에 맞는 코터 옵션

간단한 레지스트 디스펜싱 시스템부터 완전 자동 디스펜싱 및 에지 비드 제거(EBR)에 이르기까지 LabSpin 시리즈는 공정에 필요한 기능을 정확하게 제공합니다. 필요에 따라 기능을 추가하거나 제거하여 항상 비용 효율성과 공정 성능의 균형을 유지할 수 있습니다.

여러 개발자 옵션

LabSpin의 유연한 플랫폼으로 완벽한 퍼들 현상액 분사 설정을 구성하세요. 현상액 디스펜싱, DI-물 헹굼, 질소 건조 옵션 중에서 선택하여 필요한 정확한 공정을 만들고 추가 고급 커버 플레이트를 사용하여 더욱 다양하게 조정할 수 있습니다.

모든 시설에 적합

모든 환경에 맞는 유연한 설정: LabSpin은 탁상형 유닛으로 사용하거나 습식 벤치, 글러브 박스 또는 SUSS의 LabCluster에 내장형 플랫폼으로 원활하게 통합할 수 있습니다. 컴팩트한 설치 공간으로 소중한 클린룸 공간을 절약하는 동시에 설치 유연성을 극대화할 수 있습니다.