コーティングソリューション

LabSpinシリーズスピンコーター＆現像液

柔軟、正確、安全：LabSpin6とLabSpin8は、150mmと200mmまでのウェハーに対応する最新世代の手動スピンコーターと現像液システムです。ラボや研究開発環境向けに特別に設計されたLabSpinシリーズは、コンパクトなフットプリントで、様々なフォトリソグラフィ薬品に対して均一で再現性の高い結果を提供します。

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1つのシステムで無数の可能性

迅速なプロトタイピングから高度なプロセス開発まで、LabSpin6とLabSpin8はお客様のニーズにシームレスに適応します。研究開発の進展に合わせて、ウェーハサイズ、チャック、コーティングオプション、追加モジュールを構成できます。コンパクトな設計とインテリジェントな技術により、どちらのシステムも場所を取らず、正確で再現性のある結果を提供します。

150mmから200mmまでのウェーハサイズ

LabSpin6は、最大150 mmの円形基板と100×100 mmの正方形基板をサポートし、LabSpin8は、その範囲を200 mmの円形または150×150 mmの正方形に拡張しています。この柔軟性により、1つのプラットフォームで多様なプロセスを検討することができます。

豊富なチャックバリエーション

様々なチャックが利用可能なLabSpinシリーズは、断片や特殊な形状のものまで、幅広い基板に適応します。これは、妥協が少なく、制限が少なく、さまざまな用途でより信頼性の高い結果が得られることを意味します。

お客様のニーズに合ったコーターオプション

シンプルなレジストディスペンシングシステムから、完全自動ディスペンシング、EBR（エッジビード除去）まで、LabSpinシリーズはお客様のプロセスに必要な機能を正確に提供します。お客様のニーズに応じて機能を追加・削除することで、常にコスト効率とプロセス能力のバランスを保つことができます。

複数の現像液オプション

LabSpinの柔軟なプラットフォームで、完璧なパドル現像セットアップを構成できます。現像液ディスペンシング、純水リンス、窒素乾燥オプションから必要なプロセスを選択し、高度なカバープレートを追加してさらに適応させることができます。

すべての施設に適合

あらゆる環境に対応する柔軟なセットアップLabSpinは卓上ユニットとして、またはウェットベンチ、グローブボックス、SUSS LabClusterにビルトインプラットフォームとしてシームレスに統合できます。コンパクトなフットプリントは、クリーンルームの貴重なスペースを節約すると同時に、設置の柔軟性を最大化します。