스탬프 제작 툴(Tool)

NIL-SFT12 시리즈 스탬프 제작 툴(Tool)

NIL-SFT12 시리즈 스탬프 제작 툴은 패턴 충실도가 뛰어난 고해상도 임프린트 스탬프를 빠르고 정밀하게 제작할 수 있습니다. NIL-SFT12 시리즈는 SUSS의 나노 임프린팅 장비와 함께 확장 가능한 나노 임프린트 제조, 높은 오버레이 정확도, 엄격한 CD 제어 및 스탬프당 낮은 비용을 제공합니다. 생산용으로 제작되어 높은 수율을 보장하고 산업용 임프린트 워크플로우에 원활하게 통합할 수 있습니다.

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기록적인 시간 내에 고품질 스탬프 제작

NIL-SFT12 시리즈는 처리 시간을 크게 단축할 수 있습니다. 최적화된 UV 조도와 노광 영역 전반의 뛰어난 광 균일성을 통해 몇 시간에서 몇 분으로 단축됩니다. 광범위한 UV 경화 재료와 호환되도록 설계된 이 시스템은 높은 공정 안정성을 보장하고 결함 형성을 최소화하며 재현 가능한 고충실도 스탬프 제작을 지원합니다.

차세대 툴(Tool) 평탄도

대폭 강화된 평탄도 공차로 새로운 차원의 초평탄 툴링이 가능합니다. 그 결과 임프린트 변형이 감소하고 결함 밀도가 낮아집니다. 고급 재료, 정밀 제조 및 자격을 갖춘 공급업체 네트워크를 기반으로 제작된 이 툴링은 웨이퍼 규모에서 안정적이고 재현 가능한 성능을 제공합니다.

독립형 스탬프 제작을 통해 소유 비용 절감.

전용 스탬프 제작 솔루션을 사용하면 스탬프 생산 중에 고가의 임프린트 시스템을 사용할 필요가 없습니다. 따라서 중요한 툴(Tool) 용량을 확보하고 전반적인 장비 활용도를 개선하며 나노 임프린팅 제조 흐름 전반에서 소유 비용을 크게 낮출 수 있습니다.

12인치 용지용 스탬프 제작 툴(Tool).

대규모 임프린트 리소그래피용으로 설계된 이 시스템은 200mm NIL-SFT8 시리즈의 입증된 개념을 300mm 웨이퍼로 확장한 것입니다. 신뢰성, 확장성 및 정밀성을 결합하여 고급 나노 임프린팅 애플리케이션을 위한 높은 처리량, 높은 충실도의 스탬프 제작을 지원합니다.

모든 규모에 적합한 정교한 스탬프

NIL-SFT12 시리즈 스탬프 제작 툴(Tool)의 주요 특징

세심하게 설계된 시스템 기능을 통해 초평면, 고충실도 스탬프 제작의 이점을 누릴 수 있습니다. 정밀하고 처리량이 많으며 신뢰할 수 있는 나노 임프린팅 스탬프 제작을 가능하게 하는 기술적 주요 특징을 살펴보세요.

우수한 척 평탄도

이 시스템은 2µm의 뛰어난 척 평탄도를 통해 전체 스탬프 영역에 걸쳐 균일한 접촉과 경화를 보장합니다. 따라서 비충진 및 갇힌 공기와 같은 일반적인 결함이 직접적으로 감소하여 더 높은 수율과 일관되게 신뢰할 수 있는 나노 임프린팅 결과를 제공합니다.

고강도

최대 200mW/cm²의 출력과 ±5% 이상의 균일성을 제공하는 이 시스템은 빠르고 정밀하게 제어되는 경화를 가능하게 합니다. 기존 수은 램프와 달리 핫스팟이나 고르지 않은 노광 없이 일관된 결과를 제공하여 공정 신뢰성과 스탬프 품질을 향상시킵니다.

듀얼 UV 및 감열 스탬프 제작 기능

이 유연한 시스템은 UV 및 감열 스탬프 제작을 모두 지원하며, 업그레이드 가능한 모듈을 통해 변화하는 공정 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 운영을 간소화하고 장비 설치 공간을 줄이며 공정 유형 간에 원활하게 전환할 수 있습니다.

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NIL-SFT12 Series Datasheet

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