壓印模具製作設備
NIL-SFT12 系列 壓印模具製作設備
NIL-SFT12 系列壓印模具可快速、精確地生產出圖案保真度極佳的高解析度壓印模具。NIL-SFT12 系列與 SUSS' 奈米壓印設備搭配使用，可提供可擴充的奈米壓印製程、高對準精度、嚴格的 CD 控制及低成本的壓印模具。專為生產而製造，可確保良率，並與工業壓印工作流程無縫整合。
MA12 Gen3
半自動化系統，用於先進封裝、微機電系統 (MEMS) 和壓印光刻應用的 300 mm 以下晶圓的掩模對準機。
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