スタンプ製造装置
スタンプ製造装置 NIL-SFT12シリーズ
NIL-SFT12シリーズは、パターン忠実度に優れた高解像度インプリントスタンプを高速かつ高精度に製造することができるスタンプ製造装置です。NIL-SFT12シリーズはSUSSナノインプリント装置と組み合わせることで、スケーラブルなナノインプリント製造、高いオーバーレイ精度、厳密なCDコントロール、スタンプあたりの低コストを実現します。生産用に構築されたNIL-SFT12シリーズは、高い歩留まりと工業用インプリントワークフローへのシームレスな統合を保証します。
