プロジェクションスキャナ

正確なアライメントを特徴とし、高精度の露光光学系を備えたSUSS MicroTecのプロキシミティ露光装置の製品 ラインナップは、 ユニークなプロジェクション露光方式で補完されています。 フルフィールドリソグラフィのメリットと投影リソグラフィのパフォーマンスを併せ持つプロジェクションスキャナ・プラットフォーム「DSC」は、投影ステッパの代わりとなる、コスト効率に優れた製品です。フルフィールドマスクとブロードバンド投影光学系が装備されているこのプラットフォームでは、1回の連続スキャンモードで基板の露光を行います。 主な使用範囲はアドバンスド・パッケージング分野のアプリケーションですが、特にウエハレベル・チップスケールパッケージ、フリップチップパッケージ、3次元積層、MEMS、ディスプレイに適しています。

Technologies

  • Projection Lithography