JETx
大量生産向けインクジェットプリンティングソリューション
SUSS MicroTecのインクジェットプリンターJETxは、パワーエレクトロニクス、センサー、MEMS、ディスプレイ、バイオメディカルなどの半導体および関連市場向けに設計された、機能性材料を印刷するための最も先進的なソリューションです。
JETxは、ACS200 Gen3 TEなどの搬送装置やホットプレートと組み合わせることで、最大300 mmまでのラウンドウェーハや最大24インチ×30インチ（610×765 mm）のパネルに対して高いスループットと低い所有コストで生産できるソリューションとなります。
ハイライト
- 環境に優しいプロセス
- 完全統合型プロダクションソリューション
- 高い信頼性、生産性、低所有コスト
- プロセスに最適化されたカスタマイズ可能な構成
- 溶剤系、水系、ホットメルト系、UV硬化型インクに対応可能
- 簡単な操作とメンテナンス
グリーンプロセス
インクジェットプリンティングは、アディティブテクノロジーとして、従来のサブトラクティブマニュファクチャリングと比較して、環境にやさしいプロセスです。必要な場所に必要な量だけ印刷することで、無駄な材料が減り、余分な材料を取り除く工程も省けます。
完全統合生産ソリューション
JETx と ACS マテリアルハンドリングユニット (/jp/products-solutions/coater-developer/acs200-gen3-te) は、フォトレジスト、相変化レジスト、ポリイミド、SU-8、ソルダーマスクなどの誘電体、さらに導電性インクや顧客独自の材料などのダイレクトパターニングを行う完全統合型のプロダクションソリューションを提供します。
生産性の最適化
インクジェットプリンターの利点のひとつは、生産性を上げるためにプリントヘッドを増やすことですが、JETxは複数のプリントヘッドと複数のインクシステムで構成され、生産性を最適化することが可能です。
PiXDROインクジェット技術
JETxは、PiXDROインクジェットテクノロジーを搭載し、半導体製造のための最高のソリューションを提供します。
前処理・後処理オプション
ACS と JETx には、バーコードスキャナ付きウェーハプリアライナー、フィデューシャルアライメント用高解像度カメラ、インライン UV (Ultra-Violet) および NIR (Near Infra-Red) ピニング/キュアリング、ホットプレートおよびクールプレートスタックなどの複数のプリ/ポストプロセッシングオプションが搭載されています。
主な特長とオプション
- 全自動生産ソリューション
- グリーンプロセス
- 実質的に材料の無駄がない
- 最小限の床面積
- デジタル処理による製品の個別化
- 脆弱な基板に対応した非接触成膜
- マイクロメートル単位での膜厚制御
- 前処理・後処理の統合オプション
- リフィル中の動作継続
- 自動プロセス検査