LabSpinシリーズ スピンコーター＆デベロッパー
最大150mmおよび200mmのウェーハに対応するラボ用スピンコーターおよびデベロッパーソリューションです。
SUSS MicroTecのLabSpinプラットフォームは、ラボやR&D用に特別に開発された次世代のマニュアルスピンコータとデベロッパシステムです。LabSpinシステムは、様々なフォトリソグラフィー用薬液に対応するように設計されており、先進のプロセスチャンバー設計により、ウェーハ上に均一、正確かつ再現性のあるスピンコーティングを実現します。
ハイライト
- スピンコーティングおよびパドル現像を含む広範囲なプロセスをサポート
- エッジビードの除去
- ディスペンス位置を柔軟に調整可能
LabSpinは、卓上ユニットおよび組み込みユニットとして、さまざまなバージョンで利用できます。組み込みプラットフォームは、ウェットベンチやグローブボックスに統合するか、またはSUSS LabClusterで使用するように設計されています。LabSpin6は、直径150 mmまでの円形基板または100x100 mmまでの正方形基板に適しています。LabSpin8 は、直径200 mmまでの円形基板または150x150 mmまでの正方形基板に適しています。幅広い基板ホルダーにより、破片や特殊な形状でも問題なく処理できます。LabSpinプラットフォームは、コンパクトで省スペースの設計が特徴で、クリーンルームの設置スペースをほとんど必要としません。
多種多様なLabSpinオプションにより、非常に幅広いアプリケーションが可能になります。コーティングは、シリンジを使用して手動で、またはカートリッジを使用して半自動で、または最大2つの完全自動ディスペンスシステムで塗布できます。エッジコーティング、エッジビード除去、パドル現像に加えて、その他のオプションも利用できます。