印模与基板对准设备

UV-SFT 系列印模与基板对准设备

UV-SFT 系列是 SUSS 的紧凑型台式设备，用于快速、精确地制作用于微和纳米压印光刻的高质量工作印模。它与 MA/BA Gen4 系列 8 英寸掩模对准机配套使用，可为 LED、MEMS/NEMS、微光学、AR 和光电传感器领域的研发和大批量生产提供一致的结果。

咨询专家

在创纪录的时间内完成高质量印模与基板对准

强大的 UV-LED 固化功能可加快印模制造速度，将工艺时间从数小时缩短至数分钟：UV-SFT 系列具有优异的光照均匀性，可确保稳定的质量，同时与各种 UV 固化材料兼容，并可选配点胶系统，从而减少浪费并提高工艺可靠性。

快速固化，效果完美无瑕

久经考验的紫外线 LED 曝光技术可将固化时间从数小时缩短至数分钟，同时保持 ±2.5% 的光照均匀性。其结果是固化一致的高质量印模与基板对准，具有出色的结构精度和再现性。

柔性材料兼容性

UV-SFT 系列支持多种紫外固化材料，可无缝集成到研发和生产工作流程中。该系统是微机电系统、微光学器件和传感器的理想之选，可确保各种应用的灵活性和可靠结果。

面向未来的灵活性

UV-SFT 系列可从热敏技术现场升级到 UV-LED 技术，无需新设备即可适应不断变化的加工需求。该系列专为配合 MA/BA Gen4 系列 8 英寸掩模对准机而设计，可为您的应用进步提供投资保护。

UV-SFT 系列印模与基板对准设备的主要特点

适用于任何规模的精密印模与基板对准

UV-SFT 系列将精确的工程设计与灵活的加工工艺相结合，实现了卓越的印模制造，为微压印和纳米压印应用提供了质量、效率和工艺可靠性，支持从研发到 HVM 的无缝集成。

成熟的紫外线 LED 技术

先进的 UV-LED 设备可提供 100 mW/cm² 的强度，在最大 200 × 200 mm 和 200 mm 圆的曝光区域内具有 ±5% 的均匀性。稳定的高强度固化可确保印模质量均匀一致，减少工艺变异，从而在研究和生产中获得可靠的结果。高强度紫外 LED 固化可确保快速、均匀性的印模与基板对准，光照均匀性优于 ±2.5%。久经考验的 SUSS LED 技术保证了长寿命、低维护和一致的曝光质量。