스탬프 제작 툴

UV-SFT 시리즈 스탬프 제작 툴

UV-SFT 시리즈는 마이크로 및 나노 임프린팅 리소그래피용 고품질 작업 스탬프를 빠르고 정밀하게 제작할 수 있는 SUSS의 소형 테이블 탑 툴(Tool)입니다. MA/BA Gen4 시리즈 8인치 마스크 얼라이너를 보완하도록 설계되어 LED, MEMS/NEMS, 마이크로 광학, AR 및 광전자 센서 전반에서 R&D 및 대량 제조를 위한 일관된 결과를 제공합니다.

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기록적인 시간 내에 고품질 스탬프 제작

강력한 UV-LED 경화로 스탬프 제작을 가속화하여 공정 시간을 몇 시간에서 몇 분으로 단축: UV-SFT 시리즈는 뛰어난 광 균일성을 제공하여 일관된 품질을 보장하고, 다양한 UV 경화 재료와의 호환성 및 옵션인 퍼들 디스펜스 시스템으로 낭비를 줄이고 공정 안정성을 높입니다.

빠른 경화, 완벽한 결과물

검증된 UV-LED 노광 기술은 ±2.5%의 광 균일성을 유지하면서 경화 시간을 몇 시간에서 몇 분으로 단축합니다. 그 결과 구조적 정밀도와 재현성이 뛰어난 고품질 스탬프가 일관되게 경화됩니다.

유연한 소재 호환성

UV-SFT 시리즈는 R&D 및 생산 워크플로에 원활하게 통합할 수 있도록 광범위한 UV 경화 재료를 지원합니다. MEMS, 마이크로 광학 및 센서에 이상적인 이 시스템은 애플리케이션 전반에 걸쳐 유연성과 신뢰할 수 있는 결과를 보장합니다.

미래를 대비한 유연성

열에서 UV-LED 기술로 현장 업그레이드가 가능한 UV-SFT 시리즈는 새로운 장비 없이도 진화하는 공정 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. MA/BA Gen4 시리즈 8인치 마스크 얼라이너를 보완하도록 설계되어 애플리케이션이 발전함에 따라 투자 보호 기능을 제공합니다.

UV-SFT 시리즈 스탬프 제작 툴의 주요 특징

모든 규모에 적합한 정교한 스탬프

정밀한 엔지니어링과 우수한 스탬프 제작을 위한 유연한 공정이 결합된 UV-SFT 시리즈는 마이크로 및 나노 임프린팅 응용 분야에서 품질, 효율성 및 공정 안정성을 제공하여 R&D부터 HVM까지 원활한 통합을 지원합니다.

검증된 UV-LED 기술

고급 UV-LED 장치는 최대 200 × 200mm 및 200mm 원형 노광 영역에서 ±5%의 균일성으로 100mW/cm²의 강도를 제공합니다. 일관된 고강도 경화는 균일한 스탬프 품질을 보장하고 공정 변동성을 줄여 연구 및 생산에서 신뢰할 수 있는 결과를 제공합니다. 고강도 UV-LED 경화는 ±2.5% 이상의 광 균일성으로 빠르고 균일한 스탬프 제작을 보장합니다. 입증된 SUSS' LED 기술은 긴 수명, 낮은 유지보수, 일관된 노광 품질을 보장합니다.

유연한 서브스트레이트 및 마스터 핸들링

다양한 구성 옵션: 이 시스템은 2인치, 3인치, 100밀리미터, 150밀리미터, 200밀리미터의 마스터와 함께 200 × 200밀리미터 및 240 × 240밀리미터의 스탬프 본더를 수용하여 다양한 기판 형식을 지원하고 프로젝트 요구 사항 간에 원활하게 전환할 수 있어 도구 활용도를 극대화합니다.