数字涂层解决方案

JETx 自动喷墨打印机

SUSS' 最先进的喷墨解决方案,适用于整个电子制造领域的大批量生产:JETx 可提供数字化、精确和非接触式的材料沉积,支持最大 300 mm 的晶圆和最大 24" × 30" 的面板。

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提高生产效率

高可靠性、高生产率、低拥有成本:JETx 集先进技术、灵活性和自动化处理于一身,最大程度地节省了材料。卓越的稳定性和极高的精度使其成为从半导体、电子显示器、生物医学设备到化学加工等所有市场大批量生产的理想之选。

最大限度的多功能性

完全集成的生产解决方案可处理几乎所有工艺和材料。数字喷墨技术可按需提供复杂图案、个性化布局和功能层--实现选择性涂层、形貌精度和数字定制,从而实现一流的半导体生产。

智能计量功能

亚微米级印刷精度与实时视觉基准对准:用于视觉优化印刷的集成 DI300 对准量测可检测靶标,并对翘曲、变形或基板偏移进行补偿,确保在每块基板上都能实现精确的图案对准,即使在高吞吐量情况下也是如此。

绿色工艺 - 零材料浪费

JETx 喷墨技术作为一种增材制造技术,只在需要的地方打印所需的材料,实现了可持续制造。这消除了浪费和去除加工步骤,与传统的减法技术相比,最多可节省 90% 的材料。

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全天候全自动生产

完全集成的生产解决方案可实现连续吞吐量:基板处理的智能自动化、集成的过程检测和控制以及简便的操作和维护可实现不间断运行 - 即使在加料期间也是如此。

JETx 自动喷墨打印机的主要特点

新一代喷墨打印

JETx 具有无与伦比的技术能力和出色的灵活性:多材料打印、从光刻胶到专用涂层的兼容性、精确的层控制以及易扩展性,使先进的多层工艺具有卓越的质量和生产率。

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多种材料能力

易于扩展和优化生产率:使用带有单独墨水系统(包括溶剂型、水性、热熔墨水和紫外固化油墨)的多个打印头,最多可同时打印四种材料--非常适合先进的多层工艺和定制生产。

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通用材料处理

AXS200 可处理各种材料,支持光刻胶、聚酰亚胺、涂层、蚀刻胶等,实现了先进半导体及邻近市场(包括功率半导体、传感器、微机电系统、显示器和生物医学应用)的功能性喷墨液开发。

层厚从 100 纳米到 60 微米不等

从超细结构到较厚的功能性涂层,AXS200 可提供从 100 纳米到超过 60 微米的精确层,为各种功能性材料提供最大的通用性。

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