デジタルコーティングソリューション

JETx 自動インクジェットプリンター

JETxは、最大300mmのウェハーと最大24インチ×30インチのパネルに対応し、デジタル、高精度、非接触での材料成膜を実現します。

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生産効率の向上

高信頼性、高生産性、低所有コスト:JETxは、先進技術、柔軟性、自動ハンドリングと最大限の材料節約を兼ね備えています。優れた安定性と極めて高い精度により、半導体、電子ディスプレイ、生体医用デバイスから化学的加工まで、あらゆる市場の大量生産に最適です。

最高の汎用性

完全に統合された生産ソリューションは、事実上すべてのプロセスと材料をハンドリングします。デジタルインクジェット技術は、複雑なパターン、個別のレイアウト、機能層をオンデマンドで提供し、クラス最高の半導体製造のための選択的コーティング、トポグラフィー精度、デジタルカスタマイズを可能にします。

スマート計測機能

リアルタイムビジョンアライメントによるサブミクロン印刷精度:ビジョンに最適化された印刷のための統合DI300計測は、フィデューシャルを検出し、反り、歪み、または基板のシフトを補正し、高スループットでも、すべての基板で基準点位置合わせを確実にします。

グリーンプロセス - 廃棄物ゼロ

JETxインクジェット技術は、必要な場所に必要な材料だけを正確に印刷するアディティブ工法として、持続可能な製造を実現します。これにより、廃棄物や除去加工の工程がなくなり、従来の減法的技術と比較して最大90%の材料節約を実現します。

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24時間365日の完全自動生産

基板ハンドリングのスマートな自動化、統合されたプロセス検査と制御、簡単な操作とメンテナンスにより、連続運転が可能です。

JETx 自動インクジェットプリンターの主な特徴

次世代インクジェット印刷

マルチマテリアル印刷、フォトレジストから特殊コーティングまでの互換性、精密なレイヤー制御、容易な拡張性により、卓越した品質と生産性を備えた高度なマルチレイヤープロセスを実現します。

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マルチマテリアル対応

簡単なスケールアップと最適化された生産性:溶剤ベース、水性、ホットメルト、UV硬化型インクを含む、個別のインクシステムを備えた複数のプリントヘッドを使用して、最大4つの材料を同時に印刷。

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ユニバーサル・マテリアルハンドリング

AXS200は、フォトレジスト、ポリイミド、レジストコーティング、エッチングレジストなど、多様な材料を処理することができ、パワーエレクトロニクス、センサー、MEMS、ディスプレイ、生体医用アプリケーションなど、先端半導体およびその隣接市場において機能性インクジェット開発を可能にします。

100 nmから60 µmまでの層

超微細構造から厚膜の機能性コーティングまで、AXS200は100nmから60μm以上の精密なレイヤーを提供し、幅広い機能性材料に最大限の汎用性を提供します。

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