數位塗佈解決方案

JETx 自動噴墨印表機

SUSS' 最先進的噴墨解決方案,適用於整個電子製造領域的大量生產:JETx 提供數位、精確和非接觸式的材料鍍膜,支援最大 300 mm 的晶圓和最大 24" × 30" 的面板。

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發揮生產效率

高可靠性、高生產力、低擁有成本:JETx 結合了先進的技術、彈性和自動化處理,最大程度地節省材料。優異的穩定性與極高的精密度,使其成為所有市場中大批量生產的理想選擇 - 從半導體、電子顯示器、生物醫學裝置,直到化學加工。

最大多功能性

完全整合的生產解決方案幾乎可處理所有製程與材料。數位噴墨技術可依需求提供複雜圖案、個人化佈局和功能層 - 可實現選擇性塗層、精密形貌和數位客製化,以達到最佳半導體生產。

智慧型計量功能

即時視覺對準,達到次微米級的印刷對準精度:整合式 DI300 對準量測,可針對視覺最佳化印刷檢測基座,並針對翹曲、扭曲或基板移位進行補償,即使在高吞吐量的情況下,也能確保每個基板上的圖案都能精確對準精度。

綠色製程 - 材料零廢棄

JETx 噴墨技術作為一種增材制造技術,只在需要的地方準確打印所需的材料,實現了可持續製造。這可消除廢料和移除加工步驟,與傳統的減材技術相比,最多可節省 90% 的材料。

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24/7 全自動化生產

完全整合的生產解決方案,可達到連續吞吐量:基板處理的智慧型自動化、整合式製程檢查與控制,以及簡易的操作與維護,可實現不間斷的運轉 - 即使在加料期間也是如此。

JETx 自動噴墨印表機的主要特點

新一代的喷墨打印

JETx 提供無與倫比的技術能力與出色的靈活性:多材質印刷、從光阻到特殊塗層的相容性、精確的層控制以及易於擴展性,使先進的多層製程擁有卓越的品質與生產力。

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多材質能力

輕鬆擴充規模並優化生產力:使用配備個別墨水系統的多個打印頭,最多可同時打印四種材料,包括溶劑型墨水、水性墨水、熱熔墨水和紫外固化油墨 - 非常適合先進的多層製程和客製化生產。

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通用物料處理

AXS200 可處理各種材料,支援光刻膠、聚醯亞胺、塗敷、蝕刻膠等,讓先進半導體及其周邊市場(包括功率電子、感測器、MEMS、顯示器及生物醫學應用)的功能性噴墨液開發得以實現。

從 100 奈米到 60 微米的層數

從超精細結構到較厚的功能性塗層,AXS200 可提供從 100 nm 到超過 60 µm 的精確塗層,為各種功能性材料提供最大的通用性。

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