スタンプ製造装置

UV-SFTシリーズスタンプ製造装置

UV-SFTシリーズは、SUSSのコンパクトな卓上型装置で、マイクロインプリントおよびナノインプリントリソグラフィー用の高品質なスタンプを高速かつ高精度に作製することができます。MA/BA Gen4シリーズ8″マスクアライメントを補完するように設計されており、LED、MEMS/NEMS、マイクロオプティクス、AR、オプトエレクトロニクスセンサーなどの研究開発および大量生産において安定した結果を提供します。

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高品質のスタンプを記録的な速さで製造

強力なUV-LED硬化でスタンプ製造を加速し、プロセス時間を数時間から数分に短縮します。UV-SFTシリーズは、さまざまなUV硬化材料との互換性とオプションのパドルディスペンスシステムにより無駄を削減し、プロセスの信頼性を高める一方で、一貫した品質を保証する卓越した光均一性を実現します。

速硬化、完璧な仕上がり

実績のあるUV-LED露光技術は、±2.5%の光均一性を維持しながら、硬化時間を数時間から数分に短縮します。その結果、構造精度と再現性に優れた、一貫して硬化した高品質のスタンプが得られます。

柔軟な素材との適合性

UV-SFTシリーズは、研究開発および生産ワークフローへのシームレスな統合を実現するため、幅広いUV硬化型材料をサポートしています。MEMS、マイクロオプティクス、センサーに最適なこのシステムは、アプリケーションの柔軟性と信頼性の高い結果を保証します。

将来を見据えた柔軟性

UV-SFTシリーズは、サーマル方式からUV-LED方式へのフィールドアップグレードが可能で、新たな装置を導入することなく、進化する加工ニーズに対応します。MA/BA Gen4シリーズ8″マスクアライメントを補完するように設計されており、アプリケーションの進歩に伴う投資保護を提供します。

UV-SFTシリーズスタンプ製造装置の主な特長

あらゆるスケールに対応する洗練されたスタンプ

UV-SFTシリーズは、優れたスタンプ製造のための精密なエンジニアリングと柔軟なプロセスを組み合わせることで、マイクロインプリントおよびナノインプリントのアプリケーションにおいて、品質、効率、プロセスの信頼性を提供し、研究開発からHVMまでのシームレスな統合をサポートします。

実証済みのUV-LEDテクノロジー

先進のUV-LEDユニットは、最大200 × 200 mmおよび200 mmの円形露光エリアにおいて、100 mW/cm²の強度を±5%の均一性で実現します。一貫した高強度硬化により、スタンプの品質が均一化され、プロセスのばらつきが低減されるため、研究および生産において信頼性の高い結果を得ることができます。高輝度UV-LED硬化は、±2.5%以上の光均一性で、高速かつ均質なスタンプ製造を保証します。実績のあるSUSS LEDテクノロジーは、長寿命、低メンテナンス、安定した露光品質を保証します。