マスクトラックプロシリーズ

次世代リソグラフィ用フォトマスク処理

マスクトラックプロシリーズは、193i 1x nmハーフピッチ(hp)DPT、極端紫外線リソグラフィ(EUVL)、ナノプリントリソグラフィ(NIL)プロセスにおける最も厳しい条件と、マスク性能を最大化する革新的な技術とのバランスをとるように設計されています。

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次世代リソグラフィ要件に対応

マスク完全性が最先端リソグラフィ処理の成功に大きく影響する中、MaskTrack ProシリーズはEUVLに特化して設計された唯一のプラットフォームです。

モジュラー・アーキテクチャー

完全に制御された超クリーンな環境でマスクの保管、ハンドリング、加工を総合的に行うため、他社製品との装置クラスタリングを可能にする拡張性を備えている。

業界屈指の選択肢

ファーストパス洗浄歩留まりが最も高いマスクトラックプロシリーズは、業界で選ばれるプラットフォームとして受け入れられています。

業界に準拠した処理

シームレスな統合のために設計されたMasktrack Proシリーズは、厳しい業界標準に準拠しています。SEMI S2、S8、S13に準拠し、CEマークを取得し、DIN EN ISO 14644 Class 2制御環境用に構築されています。標準的なSECS/GEM 200/300 mmインターフェースにより、すぐに工場の自動化に対応できます。

半導体市場のニーズに対応

マスクトラックプロシリーズの主な特長

マスク完全性が重要視される先端リソグラフィプロセスにおいて、マスクトラックプロシリーズはEUVLに特化した唯一のプラットフォームです。

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最も欠陥の少ない現像液

A+ノズルディスペンスシステムは、現像液をマスク全体に均等に分配することで、迅速かつ均一な表面濡れとメディア交換を実現し、最小限の欠陥と最適な品質を保証します。

ASONICテクノロジー

優れた現像液のためのアコースティックストリーミング：メガソニックエネルギーを使用して表面を励起することにより、ASONIC-Technology®は現像液の交換を増加させ、均一な使用とCDの均一性を向上させます。

最新のクリーニング技術

デュアルメガソニック洗浄、高圧フルジェット洗浄、ブラシ洗浄に加え、インサイチュSC1/SPM、UVドライ洗浄、ウルトラクリーンDIプロセス、裏面洗浄、ESDセーフオプションなど、マスクトラックプロシリーズは最新のクリーンルーム要件に準拠した高度な洗浄技術を提供します。

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