壓印模具製作設備

UV-SFT 系列壓印模具製作設備

UV-SFT 系列是 SUSS' 小巧的桌上型設備，用於快速、精確地製作微米和奈米壓印光刻的高品質工作印章。該系列專為補充 MA/BA Gen4 系列 8 吋掩模對準機而設計，可為 LED、MEMS/NEMS、微光學、AR 和光電感測器等領域的研發和大批量製造提供一致的結果。

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在最短時間內完成高品質壓印模具製作

利用強大的 UV-LED 固化加速壓印模具製作，將製程時間從數小時縮短至數分鐘：UV-SFT 系列提供絕佳的光照均勻性，可確保品質穩定，同時與各種 UV 固化材料相容，並可選購供液系統 / 供液系統，以減少浪費並提高製程可靠性。

快速固化，效果完美無瑕

經過驗證的 UV-LED 曝光技術可將固化時間從數小時縮短至數分鐘，同時保持 ±2.5% 的光照均勻性。因此，固化後的高品質壓印模具具有極佳的結構精確性和再現性。

柔性材料相容性

UV-SFT 系列支援多種 UV 固化材料，可無縫整合至研發與生產工作流程。該系統是 MEMS、微光學和感測器的理想選擇，可確保各種應用的靈活性和可靠結果。

面向未來的彈性

UV-SFT 系列可從熱敏技術現場升級至 UV-LED 技術，無需新設備即可適應不斷變化的製程需求。此系列專為補充 MA/BA Gen4 系列 8 吋掩模對準機而設計，可隨著應用的進步而提供投資保護。

UV-SFT 系列壓印模具設備的主要特點

適用於任何規模的精密壓印模具

UV-SFT 系列結合精密的工程設計與靈活的加工方式，提供卓越的壓印模具製作，在微米與奈米壓印應用中提供品質、效率與製程可靠性，支援從研發到 HVM 的無縫整合。

經過驗證的 UV-LED 技術

先進的 UV-LED 裝置可提供 100 mW/cm² 的強度，在最大 200 × 200 mm 和 200 mm 圓形曝光區域內的均勻度達±5%。一致的高強度固化可確保一致的壓印模具品質，並降低製程變異，以在研究與生產中獲得可靠的結果。高強度 UV-LED 固化可確保快速、均勻性的壓印模具製作，光照均勻性優於 ±2.5%。久經考驗的 SUSS LED 技術可確保長使用壽命、低維護成本及一致的曝光品質。