印模與基板對準設備

UV-SFT 系列 印模與基板對準設備

UV-SFT 系列是 SUSS' 的緊湊型桌上型設備，用於快速、精確地製作微壓印與納米壓印所需的高品質工作印模。該系列專為補充 MA/BA Gen4 系列 8 吋掩模對準機而設計，可為 LED、MEMS/NEMS、微光學、AR 和光電感測器等領域的研發和大批量製造提供一致的結果。

聯絡專家
UV SFT Series

以精準度和多功能性提升研究能力

MJB4 結合了成熟的光刻效能與製程多功能性，適用於研究與小量生產。該系統支援易碎材料和 UV-NIL，其亞微米分辨率和快速基板轉換使其成為具有成本效益的解決方案。 ，讓 以可靠的結果探索新的應用。

每個製程的精確性

精確的對準和高品質的結果適用於廣泛的應用，靈活的曝光模式，包括軟曝光、硬曝光和真空曝光，結合高解析度的光學系統和 SUSS' 顯微鏡，可提供從 2 µm 到小於 0.5 µm 的解析度。

設計符合成本效益

MJB4 專為大學和小規模生產而設計，結合了經濟實惠與穩定的效能。其緊湊的設計、快速的設定、組態升級和可靠的操作確保了快速的投資回報，使該系統成為靈活研發實驗室具有成本效益和靈活性的選擇。

多功能的平版印刷先驅

作為最早的掩模對準機之一，MJB4 平台在研究和小批量製造領域樹立了業界標準。該系統配備了最先進的技術和多種配置模式，至今仍是全球小型基板和工件的參考工具。

操作簡易舒適

MJB4 擁有直覺式介面和簡單直接的控制方式，其設計具有卓越的用戶友好性。自動楔形誤差補償（WEC）和集成的平版印刷製程模擬軟體簡化了操作，最大限度地縮短了設置時間，並保證了最佳加工以獲得最佳效果。

UV-SFT 印模與基板對准設備的主要功能

適用於任何規模的精密印模與基板對准

UV-SFT 結合了精確的工程設計與靈活的加工方式，提供卓越的印模製作 UV-SFT 可為微壓印和奈米壓印應用提供品質、效率和製程可靠性，支援從研發到 HVM 的無縫整合。

優異的光照均勻性

透過微透鏡板，MO曝光光学系统® 可提供全場曝光的光照均勻性和更大的製程窗口，從而提高良率。遠心照明可將曝光光源與燈管光源分離，節省設定與維護時間，同時確保在燈管的使用壽命內都能達到一致的結果。

對準精度、彈性廣泛

MJB4 配備高精度對準平台，提供頂面對準或紅外線對準，並可選擇單場或分場顯微鏡，以獲得清晰的圖案識別和精確的結果。該系統可選擇升級為非標準基板或 UV 納米壓印光刻，是 MEMS、光電、混合材料和易碎 III-V 材料的理想選擇。

可調整的設備

MJB4 隨著您的研究需求而成長：MJB4 擁有大型設備庫，可處理從 5x5 mm 到 100 mm 晶圓的各種形狀和厚度（最厚達 4 mm）的工件，提供最大的靈活性。還提供專門的設備，以處理異形基板和其他非標準件。

下載

想要瞭解更多詳細資訊？請點選以下連結，下載技術資料表和深入產品資訊的產品簡報。

Product Overview Brochure EN
PDF

相關 產品

探索我們的影像解決方案組合

MA12 Gen3

半自動化系統，用於先進封裝、微機電系統 (MEMS) 和壓印光刻應用的 300 mm 以下晶圓的掩模對準機。
了解更多
MA12_Gen3-1600x1200.png
半自動

MA/BA Gen4 系列

SUSS' 半自動化掩模與鍵合對準器的新平台系統：兩種系統型號 MA/BA Gen4 與 MA/BA Gen4 Pro 在配置上有所不同，可針對標準製程或先進與高階製程進行設計。
了解更多
MABA_G~1.PNG
半自動

隨時掌握最新資訊：SUSS' 最新消息

新聞稿、投資人關係新聞等：探索我們的最新刊物，瞭解 SUSS 的最新動態。

17/11/2025
SUSS presents ambitious plans for further sales growth and sustainable margin improvement at Capital Markets Day
Corporate News
CapitalMarketsDay_NewsTeaser_Small_642x362_16_9.jpg
06/11/2025
SUSS expects significant improvement in order momentum in the fourth quarter
Corporate News
QuarterlyFigures_NewsTeaser_Small_642x362_16_9.jpg
30/10/2025
New SUSS production site in Zhubei has officially opened
Corporate News
Zhubei_Opening_NewsTeaser_Small_642x362_16_9.jpg
07/08/2025
SUSS finishes first half of the year with significant sales growth
Corporate News