旋涂机、喷涂机、显影机

以全面的涂胶与显影解决方案满足您的需求

SUSS的旋涂机和喷涂机,已成为卓越性能、易用、灵活性和增强涂胶技术的代名词。凭借小型化、用户友好的光刻胶涂胶设备的完整产品线,从经济的小批量实验室设备到晶圆尺寸高达300 mm的高端生产系统,SUSS的涂胶机和显影机可作业厚度从1 µm以下到500 µm以上的光刻胶涂层。

技术

  • 旋涂
  • 浸置式显影
  • 喷雾显影
  • 喷涂

旋涂是将某种溶液均匀涂覆在某种旋转基板上的工艺。溶液,例如某种光刻胶,被配送到晶圆的中心。随后的加速度以及分配给各个步骤的旋转速度与时间,确保多余的光刻胶被甩掉后,基板上能保持均匀厚度的光刻胶。除工艺参数之外,溶液或光刻胶的物理性质也决定了胶膜的厚度。
旋涂的应用,仅限于没有大起伏表面的结构。

可供使用:

Semi-Automated Coaters and Developers
Manual Coater and Developer