イメージングシステム
DSC300 Gen3は、300mmおよび200mmウェーハの先進パッケージングにおける投影リソグラフィ用のSUSSの全自動高スループットソリューションです。独自のスキャニング技術を採用し、高いパフォーマンス、コスト効率、高いプロセス汎用性を兼ね備えています。
フルフィールド露光と独自の走査により、正確なパターン転写と一貫したプロセス結果を提供します。調整可能な光学系とコンフィギュレーションは、幅広い先進パッケージングアプリケーションをサポートし、ステッパーベースのリソグラフィに代わるコスト効率の高い選択肢を提供します。
3桁のスループットと最小限のオーバーヘッド時間：ダイサイズやレイアウトに関係なく安定したパフォーマンスを実現するDSC300 Gen3は、生産性とコスト効率の高い1Xプロジェクションスキャナプラットフォームです。
2/2µmの解像度と<1µmのオーバーレイ、精密な温度制御、±200ppmのダイシフト補正を実現したDSC300 Gen3は、最も要求の厳しいパッケージングアプリケーションにおいても、コンタミネーションのない処理と高い精度を保証します。
先進パッケージングアプリケーション向けに設計されています。
先進のウィン・ダイソン光学系を採用したDSC300 Gen3は、正確なイメージング、堅牢なアライメント、柔軟な基板ハンドリングを実現します。これにより、ウェーハレベルパッケージング、ファンアウト、2.5D/3Dインテグレーションに必要な精度、歩留まり、適応性を確保します。
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