半自動マスクアライナとインプリント
MA12 Gen3は、300mmまでのウェーハに対応する半自動マスクアライナで、実績のあるリソグラフィと先進のインプリント処理を組み合わせています。コスト効率の高い露光、高いオーバーレイ精度、MEMS、先進パッケージング、研究開発向けの柔軟なプロセスを実現します。
MA12 Gen3は、産業用R&Dから中～大規模生産環境まで対応する汎用性の高いリソグラフィ機能を備えています。 コンパクトなデザインはクリーンルームの省スペース化を実現し、直感的なハンドリングは操作を簡素化します。SUSSの最新技術を搭載したマスクアライメントは、安定した高品質な結果を保証し、スタンダード、アドバンス、ハイエンドの各プロセスにおいてインプリント処理機能を向上させました。
MA12 Gen3のコンパクトなフットプリントは、ユーザーフレンドリーな操作性を提供しながら、コストのかかるクリーンルームのスペースを節約します。簡単にアクセスできるコンポーネント、LED光源、有名なSUSS MO露光光学系®は、メンテナンスを最小限に抑え、リモートサービス機能は、迅速で費用対効果の高い問題解決を保証します。
要求されるアプリケーションに対応する卓越したパフォーマンス
MA12 Gen3は、歩留まりを最大化し、厳しい条件下でも再現性の高い結果を保証します。強化されたウェーハレベリングやMO露光光学系から、反りウェーハや高感度材料に特化したハンドリングまで、すべての機能が信頼性と性能のために設計されています。
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