均一なUV露光で安定した仕上がり
SUSSプロジェクションスキャナーは、高度なウェハープロセスのためのユニークな投影リソグラフィソリューションを提供します。フルフィールド露光とシングル連続走査露光を組み合わせることで、スティッチングや露光オーバーによる欠陥のない均一な結果を保証します。高スループットと非接触操作のために設計された当社のシステムは、半導体、MEMS、先進パッケージングなどの多様なアプリケーションにおいて、コスト効率に優れた高解像度リソグラフィを可能にします。
洗練された投影リソグラフィ
SUSS プロジェクションスキャナー
投影ステッパーとは異なり、SUSS投影スキャナーはシングルパスでウェーハ全体を露光します。これにより、スティッチングエラーを排除し、露光不良を防止し、すべての基板にわたって均一な解像度を実現します。これにより、先進の半導体およびパッケージングリソグラフィにおいて、安定した再現性の高い結果が保証されます。
シングルコンスティニュアススキャニングにより、ウェーハはワンステップでシームレスに露光されます。これにより、スループットが向上し、欠陥のない均一性が確保されます。これは、信頼性、スピード、歩留まりが不可欠な大量生産にとって決定的な利点です。
投影光学系とフルフィールド露光を組み合わせたSUSSプロジェクションスキャナーは、ステッパーに高性能でコスト効率の高いソリューションを提供します。当社のシステムは、MEMS、半導体、先進パッケージングアプリケーションに必要な精度を確保しながら、複雑さと運用コストを削減します。
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