Anlage zur Herstellung von Stempeln

UV-SFT Serie Anlage für die Herstellung von Stempeln

Die UV-SFT-Serie ist die kompakte Anlage von SUSS für die schnelle und präzise Herstellung hochwertiger Stempel für die Mikro- und Nanoimprint-Lithografie. Sie wurde als Ergänzung zu den Mask-Alignern der Serie MA/BA Gen4 entwickelt und liefert konsistente Ergebnisse für Forschung und Entwicklung sowie für die Großserienfertigung in den Bereichen LEDs, MEMS/NEMS, Mikrooptik, AR und optoelektronische Sensoren.

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Hochwertige Stempelherstellung in Rekordzeit

Beschleunigen Sie die Herstellung von Stempeln mit leistungsstarker UV-LED-Härtung und verkürzen Sie die Prozesszeiten von Stunden auf Minuten: Die UV-SFT-Serie bietet eine außergewöhnliche Lichtgleichförmigkeit, die eine gleichbleibende Qualität sicherstellt, während die Kompatibilität mit verschiedenen UV-härtenden Materialien und ein optionales Dosiersystem für Pfützen den Abfall reduzieren und die Prozesssicherheit erhöhen.

Schnelles Aushärten, makellose Ergebnisse

Die bewährte UV-LED-Belichtungstechnologie verkürzt die Aushärtungszeit von Stunden auf Minuten und gewährleistet gleichzeitig eine Lichtgleichförmigkeit von ±2,5 %. Das Ergebnis sind gleichmäßig ausgehärtete, hochwertige Stempel mit hervorragender struktureller Präzision und Reproduzierbarkeit.

Kompatibilität mit flexiblen Materialien

Die UV-SFT-Serie unterstützt eine breite Palette von UV-härtbaren Materialien für eine nahtlose Integration in F&E- und Produktionsabläufe. Das System ist ideal für MEMS, Mikrooptiken und Sensoren und gewährleistet Flexibilität und zuverlässige Ergebnisse bei allen Anwendungen.

Zukunftssichere Flexibilität

Die UV-SFT-Serie kann von der thermischen auf die UV-LED-Technologie umgestellt werden und passt sich so den sich entwickelnden Prozessanforderungen an, ohne dass neue Anlagen / Maschinen erforderlich sind. Sie wurde als Ergänzung zu den Mask-Alignern der Serie MA/BA Gen4 8″ entwickelt und bietet Investitionsschutz, wenn sich Ihre Anwendungen weiterentwickeln.

Hauptmerkmale der Anlage zur Herstellung von Stempeln der Serie UV-SFT

Anspruchsvolle Stempel für jeden Maßstab

Die UV-SFT-Serie kombiniert präzise Technik mit flexibler Verarbeitung für eine hervorragende Stempelherstellung und bietet Qualität, Effizienz und Prozesssicherheit für Mikro- und Nanoimprint-Anwendungen und unterstützt die nahtlose Integration von F&E bis HVM.

Bewährte UV-LED-Technologie

Die fortschrittliche UV-LED-Einheit liefert eine Intensität von 100 mW/cm² mit einer Gleichmäßigkeit von ±5 % über Belichtungsbereiche von bis zu 200 × 200 mm und 200 mm rund. Das gleichmäßige Aushärten mit hoher Intensität gewährleistet eine einheitliche Stempelqualität und reduziert die Prozessvariabilität für zuverlässige Ergebnisse in Forschung und Produktion. Das hochintensive Aushärten mit UV-LEDs gewährleistet eine schnelle, homogene Stempelherstellung mit einer Lichtgleichförmigkeit von besser als ±2,5%. Die bewährte SUSS-LED-Technologie garantiert eine lange Lebensdauer, geringen Wartungsaufwand und eine gleichbleibende Qualität der Belichtung.

Flexibles Handling von Substraten und Vorlagen

Vielseitige Konfigurationsmöglichkeiten: Das System kann Stempel-Träger von 200 × 200 mm und 240 × 240 mm mit Mastern von 2″, 3″, 100 mm, 150 mm bis 200 mm aufnehmen, unterstützt verschiedene Substratformate und ermöglicht einen nahtlosen Übergang zwischen Projektanforderungen und maximiert die Auslastung der Anlage.

Hervorragende UV-Lichtgleichförmigkeit

Die außergewöhnliche Lichtgleichförmigkeit von ±2,5 % gewährleistet eine gleichmäßige Belichtung auf dem gesamten Substrat. Diese Präzisionsbeleuchtung eliminiert Kanteneffekte und Hotspots und sorgt für ein homogenes Aushärten der Stempel für eine überragende Strukturierungsgenauigkeit und minimale Defekte bei hochauflösenden Mikro- und Nanoimprinten-Anwendungen.

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