マスクアライメント

MA300 Gen3

300mmおよび200mmウェーハ対応の新世代の自動マスクアライナープラットフォームで、量産環境における最新のハイエンドファブの要件に対応するように設計されています。

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自動化された

MA200 Gen3

大量生産用に特別に設計されたMA200 Gen3マスクアライメントは、200mmまでのウェーハの自動処理に適しています。

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自動化された

MA12 Gen3

先進パッケージング、MEMS、インプリントリソグラフィーアプリケーション用の300mmまでのウェーハのマスクアライメント用半自動システム。

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半自動式

MJB4

使いやすくコンパクトなサイズSUSS´ MJB4は、100mmまでの基板やピースのラボや少量生産に最適なシステムです。

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自動化された

MA/BA Gen4シリーズ

SUSSの半自動マスク・ボンドアライメントプラットフォームの新プラットフォームシステムです。MA/BA Gen4とMA/BA Gen4 Proの2つのシステムタイプは構成が異なり、標準的なプロセスから先進的なハイエンドプロセスまで対応します。

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半自動式

UV-SFTシリーズ

マイクロインプリントおよびナノインプリントリソグラフィー用の高品質ワーキングスタンプを高速かつ高精度に製造するコンパクトなスタンプ製造装置。

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自動化された