Organisation

Die SÜSS MicroTec-Gruppe entwickelt und fertigt Anlagen sowie Prozesslösungen für Mikrostrukturanwendungen - ein Bereich, in dem SÜSS MicroTec über siebzig Jahre Erfahrung verfügt.

Unser Portfolio umfasst ein breites Spektrum an Produkten und Lösungen für die Bereiche Backend-Lithografie, Wafer-Bonding und Fotomaskenreinigung, ergänzt durch mikrooptische Komponenten.

Ob Herstellung von Speicherchips, Kameras für Mobiltelefone oder Reifendrucksensoren - die Lösungen von SÜSS MicroTec werden innerhalb eines breiten Spektrums von Herstellungsprozessen für Alltags- oder Industrieanwendungen eingesetzt. Kunden aus der Halbleiterindustrie und verwandten Märkten wie Advanced Packaging, MEMS und LED-Anwendungen schätzen insbesondere unsere umfassende Erfahrung in der Waferprozessierung. Dies macht SÜSS MicroTec zu einem zuverlässigen Partner für die Großserienproduktion und für die Forschung und Entwicklung.

 

UNSER produktportfolio

Unser Portfolio umfasst ein breites Spektrum an Produkten und Lösungen für die Bereiche Backend-Lithografie, Wafer-Bonden und Fotomaskenreinigung, ergänzt durch mikrooptische Komponenten.

 

 

Management

Vorstand

Dr. Götz M. Bendele

Vorstandsvorsitzender (CEO)

Dr. Götz M. Bendele (Jahrgang 1970, Staatsangehörigkeit deutsch) promovierte im Jahr 1998 an der Stone Brook University, NY (USA) im Fach Physik. Anschließend arbeitete er für ein Jahr als Post Doctoral Researcher (Physik) am Los Alamos National Laboratory, Los Alamos, NM (USA). Im Jahr 2000 stieg er als Unternehmensberater bei McKinsey & Company ein. Dort war er in den Jahren 2000 bis 2009 an den Standorten Berlin, Hamburg, Palo Alto, CA (USA) sowie Taipeh (Taiwan) tätig. Vor seiner Tätigkeit als Vorstandsvorsitzender der LPKF Laser & Electronics AG in den Jahren 2018 bis 2021, war er in verschiedenen Führungspositionen tätig. Er war davor als Partner bei Infosys Limited in Seattle (USA) für das Beratungsgeschäft bei Technologieunternehmen an der US-Westküste verantwortlich, zuvor leitete er unter anderem das Solar-Europageschäft des Chipherstellers TSMC als Geschäftsführer. Dr. Götz M. Bendele verfügt als promovierter Physiker neben umfangreicher Vertriebs- und Managementerfahrung über weitreichende Kenntnisse in den Bereichen Technologie, Produktinnovation und Produktentwicklung. Er verfügt über langjährige Erfahrung in der Halbleiter-, Elektronik- und Solarindustrie, ergänzt durch eine fast zehnjährige Beratungstätigkeit für High-Tech-Unternehmen in Europa, den USA sowie in Asien als Unternehmensberater bei McKinsey & Company. Es bestehen keine Mitgliedschaften in gesetzlich zu bildenden Aufsichtsräten oder in anderen in- und ausländischen Kontrollgremien von Wirtschaftsunternehmen.

Stand April 2021

Oliver Albrecht

Finanzvorstand (CFO)

Oliver Albrecht (Jahrgang 1964, Staatsangehörigkeit deutsch) ist seit 18. November 2019 Finanzvorstand der SÜSS MicroTec SE. Nach einer Ausbildung zum Bankkaufmann studierte er Betriebswirtschaftslehre an der Universität Mannheim und am Institut Commercial de Nancy. Von 1992 bis 2003 war er im Finanz- und Bankensektor als Direktor Investment Banking und Corporate Finance tätig. Zwischen 2003 und 2019 bekleidete er verschiedene Funktionen in der kaufmännischen Leitungsebene: Head of Finance bei der Peri GmbH in Weißenhorn, Finanzvorstand bei der centrotherm photovoltaics AG, Blaubeuren, Finanzvorstand bei der in Aalen ansässigen SHW AG und Geschäftsführer bei der Vetter Pharma-Fertigung GmbH & Co KG in Ravensburg. Es bestehen keine Mitgliedschaften in gesetzlich zu bildenden Aufsichtsräten oder in anderen in- und ausländischen Kontrollgremien von Wirtschaftsunternehmen.

Stand April 2021

Dr. Thomas Rohe

Chief Operating Officer (COO)

Vor seiner Promotion zum Dr.-Ing. an der Universität Stuttgart im Jahr 2001, studierte Dr. Thomas Rohe (Jahrgang 1966, Staatsangehörigkeit deutsch) Physik an der Technische Universität Darmstadt. In den Jahren 2009 und 2010 absolvierte er nebenberuflich ein MBA-Studium an den Universitäten Augsburg und Pittsburgh (USA). Seine berufliche Karriere begann Dr. Thomas Rohe im Jahr 1994 am Fraunhofer-Institut ICT. 2001 wechselte er in die Industrie zur Carl Zeiss SMT GmbH, wo er zunächst als Produktverantwortlicher für die Entwicklung von Optiken von Waferscannern verantwortlich war und im Jahr 2005 die Abteilungsleitung Technologie Mechatronik LIT-TM übernahm. In den Jahren 2007 bis 2014 war er bei Unternehmen der Carl Zeiss-Gruppe zudem als Geschäftsfeldleiter und zuletzt als Senior Director Operations im Geschäftsbereich Elektronenmikroskopie tätig. Anschließend übernahm er die Position des Vorstands und COO der Prüftechnik Dieter Busch AG, welche im Juli 2019 an den amerikanischen Fortive-Konzern bzw. das Tochterunternehmen Fluke verkauft wurde. Dr. Thomas Rohe verfügt über ein hohes Maß an Technologie- und Fertigungsverständnis sowie einschlägige Branchenerfahrung. Es bestehen keine Mitgliedschaften in gesetzlich zu bildenden Aufsichtsräten oder in anderen in- und ausländischen Kontrollgremien von Wirtschaftsunternehmen.

Stand April 2021

Aufsichtsrat

Dr. David Dean

Aufsichtsratsvorsitzender*

Seit mehr als 30 Jahre hinweg arbeitet Herr Dr. Dean auf Führungsebene mit globalen Technologieunternehmen erfolgreich an deren Strategie- und Unternehmensentwicklung. Nach seiner Promotion in Physik und theoretische Kernphysik begann er zunächst eine wissenschaftliche Laufbahn, um 1985 zur Boston Consulting Group zu wechseln. Zwischen 1994 und 2013 arbeitete Herr Dr. Dean als Partner (ab 2002 als Senior Partner) im Bereich "Technology & Telecoms" der Boston Consulting Group und hielt zwischen 2000 und 2006 die weltweite Verantwortung für dieses Geschäft inne.
Seit 2014 wirkt Herr Dr. Dean als unabhängiger Berater sowie Aufsichts- oder Beirat in verschiedenen Unternehmen:

Senior Advisor der Boston Consulting Group, München, Deutschland
Kaiteki Insituts der Mitsubishi Chemical Holding Corp, Tokyo, Japan
PT XL Axiata Tbk, Jakarta, Indonesien
Axiata Group Berhad, Kuala Lumpur, Malaysia
Ncell Pvt Ltd., Kathmandu, Nepal

* Seit 20. Mai 2020. Gewählt bis 2022. Stand April 2021

 

Dr. Myriam Jahn

Stellvertretende Aufsichtsratsvorsitzende*

Dr. Myriam Jahn begann ihre berufliche Laufbahn 1994 als Unternehmensberaterin bei der Boston Consulting Group in Düsseldorf und wechselte 1999 zur Deutschen Gesellschaft für Mittelstandsberatung (DGM), wo sie schwerpunktmäßig im Bereich Strategieberatung tätig war. Nach ihrer Dissertation und Promotion an der Universität Duisburg-Essen im Jahr 2003 startete sie bei der ifm-Unternehmensgruppe in Essen. Dort hatte sie verschiedene verantwortungsvolle Positionen in den Bereichen Vertrieb und Verwaltung inne. Von 2016 bis 2018 war Fr. Dr. Jahn Mitglied des Vorstands der TiSC AG, einem Tochterunternehmen innerhalb der ifm-Gruppe, und verantwortete den Vertriebsbereich. Nach zwei Jahren als Mitglied der Geschäftsleitung der q.beyond AG (früher: QSC AG), einem Unternehmen, das sich auf die Digitalisierung im Mittelstand spezialisiert, leitet Frau Dr. Myriam Jahn heute den Digitalisierungs-Geschäftsbereich der Possehl-Gruppe als alleinige Geschäftsführerin. Frau Dr. Jahn besetzt im Aufsichtsrat die Kompetenzbereiche Digitalisierung und Industrie 4.0. 

* Seit Mai 2017. Gewählt bis 2022. Stand April 2021.

 

Dr. Dietmar Meister

Aufsichtsratsmitglied*

Nach seiner Promotion in Wirtschaftswissenschaften an der Universität Mannheim begann Dr. Dietmar Meister 1990 seine berufliche Laufbahn bei der Daimler-Benz AG, wo er verschiedene Positionen innehatte. 1997 wechselte er zur Jungheinrich AG und leitete dort bis 2000 das Konzern-Controlling. Als Nächstes übernahm er die kaufmännische Geschäftsführung für den Geschäftsbereich Kältetechnik in der Konzernzentrale der Linde AG in Wiesbaden. Von 2006 bis 2009 leitete er den Finanzbereich der Brose Gruppe. Als kaufmännischer Geschäftsführer / CFO der Vaillant-Gruppe zeichnete er sich von 2009 bis 2017 für Finanzen und Dienstleistungen verantwortlich. Seit 2019 ist er freiberuflich als Unternehmensberater tätig.
Dr. Dietmar Meister ist seit 2010 Mitglied des Regionalbeirats West bei der Commerzbank AG.

* Seit Juni 2019. Gewählt bis 2022.
Stand April 2021

Jan Smits

Aufsichtsratsmitglied*

Jan Smits blickt auf reichlich Erfahrungen mit der Unternehmensführung des Sektors Halbleiterindustrie zurück. Seine berufliche Laufbahn begann der diplomierte Maschinenbauingenieur in der Auftragsforschung an der Technische Universität Eindhoven (1980 – 1983). Nach einem Jahr als technischer Leiter bei der Firma Konings, N.V. wechselte er zu Philips Electronics. Dort war er von 1983 bis 1997 verantwortlich bei der Planung und Konstruktion verschiedener Entwicklungs- und Produktionsstätten, zuletzt als Program Director Equipment and Infrastructure MOS4 of Philips Semiconductor Inc. (heute NXP Semiconductors NV, Netherlands). 1997 begann er seine Tätigkeit bei der ASML Holding N.V., wo er insgesamt 22 Jahre diverse Führungspositionen innehielt. Von 2016 ab fungierte er bis zu seinem Ausscheiden im Jahr 2019 als Executive Vice President des Geschäftsbereichs Strategie Sourcing & Procurement, von 2014 ab zusätzlich als Director der ASML Niederlande. Von 2010 – 2019 war er außerdem Mitglied des Executive Committees. Seit 2019 ist Jan Smits als unabhängiger Berater tätig.

* Seit 20. Mai 2020. Gewählt bis 2022.
Stand April 2021

Dr. Bernd Schulte

Aufsichtsratsmitglied*

Dr. Bernd Schulte war bis Anfang 2021 Mitglied des Vorstands der AIXTRON SE in Herzogenrath. Dort verantwortet er seit 2017 unter anderem die Bereiche Forschung und Entwicklung, Beschaffung, Investor Relations und Kommunikation, Corporate Governance, Umwelt, Soziales und Unternehmensführung sowie Compliance und Risikomanagement. Seine akademische Laufbahn begann Herr Dr. Schulte im Jahr 1983 mit einem Studium der Physik an der Technischen Hochschule Darmstadt, welches er 1989 abschloss. 1993 folgte dann die Promotion zum Doktor rer. nat. an der Technischen Hochschule Darmstadt. Vor seinem Wechsel zu AIXTRON war er Anfang der 90er Jahre als wissenschaftlicher Mitarbeiter für die Hoechst AG tätig. Seine beruflichen Stationen bei AIXTRON beinhalten zum Beispiel das Projekt-/ und Produktmanagement für die Region Asia-Pacific sowie die Leitungsposition des Bereichs Compound Semiconductor Technologies. In den Jahren 2002 bis 2017 war Dr. Schulte als COO im Vorstand des Unternehmens tätig.

* Seit Juni 2021. Gewählt bis 2026.
Stand April 2021

 

Kennzahlen

  in Mio. € (in €) GJ 2020 GJ 2019 GJ 2018 GJ 2017 GJ 2016
 Geschäftsentwicklung           
  Auftragseingang 281,1 219,3 191,0 200,3 161,1
  Auftragsbestand zum 31.12. 120,1 93,2 84,7 133,4 101,5
  Umsatz gesamt 252,1 213,8 203,9 166,5 177,6
  Rohertrag 83,7 49,7 67,3 59,5 58,6
  Rohertragsmarge 33,2% 23,2 % 33,0 % 35,7 % 33,0 %
  Rohertrag – bereinigt um Sondereffekte 83,8 63,9 67,3    
  Rohertragsmarge – bereinigt um Sondereffekte 33,2 % 29,9 % 33,0 %    
  Herstellungskosten 168,4 164,1 136,7 107,0 119,0
  Herstellungskosten – bereinigt um Sondereffekte 168,3 149,9 136,7    
  Forschungs- und Entwicklungskosten 19,8 20,2 18,3 15,2 14,1
  EBITDA 28,2 -5,2 15,7 18,0 15,3
  EBITDA-Marge 11,2 % -2,4 % 7,7 % 10,8 % 8,6 %
  EBIT 20,4 -13,8 10,9 13,9 11,1
  EBIT-Marge 8,1 % -6,5 % 5,3 % 8,3 % 6,3 %
  EBIT – bereinigt um Sondereffekte 23,0 0,5 10,9    
  EBIT-Marge – bereinigt um Sondereffekte 9,1 % 0,2 % 5,3 %    
  Ergebnis nach Steuern 12,4 -16,3 4,8 6,7 5,0
  Ergebnis je Aktie, unverwässert (in EUR) 0,65 -0,85 0,25 0,35 0,26
  Sondereffekte          
  Wertaufholungen/ Sonderabwertungen auf Vermögenswerte -2,1 14,2 - - -
  Schließungskosten enthalten in den Umsatzkosten 2,2 0,0 - - -
 Bilanz und Cashflow           
  Eigenkapital 136,5 125,4 140,4 127,0 124,4
  Eigenkapitalquote 59,0 % 62,7 % 70,3 % 62,9 % 69,2 %
  Eigenkapitalrentabilität  9,1 % -13,0 % 3,4 % 5,3 % 4,0 %
  ROCE 12,9 % -8,7 % - - -
  Bilanzsumme 231,4 199,9 199,6 202,0 179,6
  Net Cash 20,3 -18,0 28,2 33,0 31,1
  Free Cashflow 44,0 -36,9 -5,0 2,9 -9,1
 Weitere Kennzahlen           
  Investitionen 11,3 6,1 6,9 6,5 3,6
  Investitionsquote 4,5 % 2,9 % 3,4 % 3,9 % 2,0 %
  Abschreibungen 7,8 8,6 4,8 4,1 4,2
  Mitarbeiter zum 31.12. 1.009 937 881 779 711

 

Standorte

Die SÜSS MicroTec SE und ihre Tochtergesellschaften bilden ein international tätiges Unternehmen, das Produkte im Bereich der Mikrosystemtechnik und der Mikroelektronik fertigt und vertreibt. Die Produktion konzentriert sich auf die Standorte Garching und Sternenfels in Deutschland, Hsinchu in Taiwan und in Neuchâtel in der Schweiz.

Vertrieben werden die Produkte sowohl über die Produktionsstandorte selbst, als auch zusätzlich über selbstständige Vertriebsgesellschaften in den USA, in den Niederlanden, Frankreich, Großbritannien, Japan, Singapur, Taiwan, China und Korea.

In den Ländern, in denen SÜSS MicroTec nicht selbst vertreten ist, wird unsere internationale Präsenz durch ein Netzwerk von SÜSS-Repräsentanten (Handelsvertretungen) weltweit unterstützt.

 

Produktionsstandorte

Garching | Deutschland

Hauptsitz der SÜSS MicroTec befindet sich in Garching bei München, einer Universitätsstadt im Norden des Landkreises München. An diesem Standort profitiert SÜSS MicroTec von einer idealen Infrastruktur durch die Nähe zum internationalen Flughafen und die Anbindung an zwei direkte Autobahnanschlüsse der A9 sowie von der ausgezeichneten Schienenanbindung. In Garching befindet sich neben der Firmenzentrale auch die Entwicklungs- und Produktionsstätte der SÜSS Mask-Aligner (Maskenbelichtungssysteme) aus dem Segment der Lithografie.
 

Sternenfels | Deutschland

Die größte Produktionsstätte in Sternenfels beherbergt drei Produktlinien, Coater/Developer, Wafer-Bonder und Fotomasken-Equipment unter einem Dach. Der Standort Sternenfels, in der wirtschaftlich prosperierenden und landschaftlich attraktiven Region zwischen Karlsruhe und Stuttgart, erfüllt modernste Anforderungen an Entwicklungs-, Produktions- und Verwaltungsgebäude.

 

Neuchâtel | Schweiz

SÜSS MicroTecs Spezialoptik und andere optische Elemente fertigt die Tochtergesellschaft SÜSS MicroOptics auf knapp 400 m2 Reinraumfläche in Hauterive (Neuchâtel) in der französischen Schweiz. Die Nähe zur renommierten Uhren- und Mikrotechnikindustrie sowie Schweizer Forschungseinrichtungen bietet einen erheblichen Standortvorteil.

 


Hsinchu| Taiwan

Das SÜSS MicroTec-Werk in Taiwan besteht aus einem Büro- und Produktionsbereich. Es befindet sich im staatlich geförderten Science Park in Hsinchu, einem der weltweit wichtigsten Zentren für die Halbleiterfertigung sowie der Entwicklung von Industrie- und Computertechnologie.
Die Anlage umfasst eine Fläche von 4.800 Quadratmetern, wovon 2.900 Quadratmeter auf einen Reinraumbereich inklusive Lager entfallen. Die Haupttätigkeit ist die Produktion und Auslieferung eines Großteils der SÜSS ACS200 und ACS300-Belacker und Entwickler. Darüber hinaus werden an diesem Standort UV-Projektionsscanner-Systeme entwickelt und gefertigt.

 

Firmengeschichte

1949 gründet Karl Süss in München ein Vertriebsbüro für die Mikroskope, Kameras und Laborausrüstung von Ernst Leitz Wetzlar. Im Nachkriegsdeutschland stellt der erste Firmensitz eine Garage dar. Bald bietet die Karl Süss GmbH auch Service- und Wartungsleistungen für die optischen Geräte und baut sich damit einen hervorragenden Ruf in Wissenschaftlerkreisen auf.

1962 wendet sich Siemens mit der Anfrage an Süss, ob das Unternehmen eine Maschine für das Thermokompressionsbonden von Transistoren herstellen könnte, im Rückblick ein Wendepunkt für das Unternehmen. Süss gibt Vertrieb und Wartung der optischen Geräte auf und beschäftigt sich fortan mit der Auftragsfertigung. Der erste Auftrag umfasste kleine Messtische mit Stereomikroskopen, die miteinander gebondet sind. 1963 entwickelt Süss den Prototyp des ersten Mask-Aligners MJB3 für Siemens.

Karl Süss und seine beiden Söhne Ekkehard und Winfried bauen das blühende Fertigungsunternehmen erfolgreich aus. Das Unternehmen muss seinen Sitz alsbald von München nach Garching verlegen, wo sich auch heute noch der Hauptsitz des Unternehmens befindet.

Die Entwicklung der Halbleiterindustrie bietet dem Unternehmen vielerlei neue Geschäftschancen. Süss beginnt, Diamantritzer und Spin-Coater herzustellen.

Der erste Mask-Aligner, der eine doppelseitige Belichtung ermöglicht, wird 1974 erfunden. Als anerkannter Experte für Fotolithografie für die Partner in Forschung und Entwicklung richtet sich Süss mittlerweile an Kunden aus der Fertigungsindustrie. 1975 lanciert das Unternehmen mit dem MJB55 den ersten Mask-Aligner für die Massenproduktion. 

Die Achtziger bringen für Süss die weltweite Expansion. Seine Aktivitäten in Übersee beginnt Süss mit einem Werk in Waterbury, Vermont/USA. 1983 wird eine asiatische Tochtergesellschaft in Thailand gegründet, der weitere Vertriebsbüros in Japan, China und Taiwan folgen. 

Süss bereitet sich auf die Herstellung von Bondern vor. Nebenbei unternimmt die Firma einen Exkurs in das sehr spezialisierte Feld der Röntgen-Stepper-Lithografie. In Dresden eröffnet Süss ein Werk für die Herstellung von Probern.

Süss erfüllt die wachsende Nachfrage nach Mikrosystemen 1989 mit der Lancierung des ersten Substrat-Bonders. In der Mikrosystemtechnologie lassen sich mit Substrat-Bondern heterogene Werkstoffe mit strukturierten Oberflächen verbinden. 1993 kann Süss das Produktportfolio um Device-Bonder erweitern.

1994 sterben Karl Süss und sein ältester Sohn Ekkehard Süss kurz nacheinander. Dies führt zu einer Reorganisation. 1999 geht das Unternehmen an die Börse. Dr. Winfried Süss, Sohn von Karl Süss, vertritt die Familie im Aufsichtsrat. Zwei Jahre später wird die neue Gesellschaftsform von der Umfirmierung aller Einzelunternehmen in SÜSS MicroTec begleitet.

Durch die Akquisition von Fairchild Technologies betritt das Unternehmen 2000 mit Beschichtungsanlagen die oberen Marktsegmente. Ab 2001 verstärkt das Geschäftsfeld Mikrooptiken der neu gegründeten SÜSS MicroOptics das lithografische Portfolio von SÜSS MicroTec. 2006 wird die erfolgreiche Gebrauchtanlagensparte in die Firma SÜSS MicroTec Reman ausgegliedert. 2007 wird die Produktlinie Device Bonder, zwei Jahre später die Prober-Linie verkauft. Die Eröffnung von Geschäftsstellen in Singapur und Korea verstärkt dagegen die Präsenz des Unternehmens in Asien.

Die letzten Jahre sind von der Konzentration auf die Kernkompetenzen gekennzeichnet. 2010 erwirbt SÜSS MicroTec mit Hamatech APE einen Anlagenhersteller für die Fotomasken-Prozessierungstechnologie. Im gleichen Jahr wird die Produktion von Substrat Bondern aus Waterbury/USA in das neu erworbene Werk in Sternenfels verlagert. Seither werden Beschichtungsanlagen, Bonder und Fotomasken-Prozessierungsanlagen im selben Werk hergestellt, das sich damit zum Kompetenzzentrum für die Nassverarbeitungstechnologie entwickelt. Mit der Akquisition von Tamarack Scientific 2012 ergänzt das Unternehmen sein lithografisches Portfolio um moderne Laserprozessierungstechnologie für die Übertragung von Mikrostrukturen.