Organisation

Die SÜSS MicroTec-Gruppe entwickelt und fertigt Anlagen sowie Prozesslösungen für Mikrostrukturanwendungen - ein Bereich, in dem SÜSS MicroTec über siebzig Jahre Erfahrung verfügt.

Unser Portfolio umfasst ein breites Spektrum an Produkten und Lösungen für die Bereiche Backend-Lithografie, Wafer-Bonding und Fotomaskenreinigung, ergänzt durch mikrooptische Komponenten.

Ob Herstellung von Speicherchips, Kameras für Mobiltelefone oder Reifendrucksensoren - die Lösungen von SÜSS MicroTec werden innerhalb eines breiten Spektrums von Herstellungsprozessen für Alltags- oder Industrieanwendungen eingesetzt. Kunden aus der Halbleiterindustrie und verwandten Märkten wie Advanced Packaging, MEMS und LED-Anwendungen schätzen insbesondere unsere umfassende Erfahrung in der Waferprozessierung. Dies macht SÜSS MicroTec zu einem zuverlässigen Partner für die Großserienproduktion und für die Forschung und Entwicklung.

 

 

UNSER produktportfolio

Unser Portfolio umfasst ein breites Spektrum an Produkten und Lösungen für die Bereiche Backend-Lithografie, Wafer-Bonden und Fotomaskenreinigung, ergänzt durch mikrooptische Komponenten.

 

 

Standorte

Die SÜSS MicroTec SE und ihre Tochtergesellschaften bilden ein international tätiges Unternehmen, das Produkte im Bereich der Mikrosystemtechnik und der Mikroelektronik fertigt und vertreibt. Die Produktion konzentriert sich auf die Standorte Garching und Sternenfels in Deutschland, Corona in Kalifornien, USA und in Neuchâtel in der Schweiz.

Vertrieben werden die Produkte sowohl über die Produktionsstandorte selbst, als auch zusätzlich über selbstständige Vertriebsgesellschaften in den USA, in Frankreich, Großbritannien, Japan, Singapur, Taiwan, China und Korea.

In den Ländern, in denen SÜSS MicroTec nicht selbst vertreten ist, wird unsere internationale Präsenz durch ein Netzwerk von SÜSS-Repräsentanten (Handelsvertretungen) weltweit unterstützt.
 

Garching | Deutschland

Hauptsitz der SÜSS MicroTec befindet sich in Garching bei München, einer Universitätsstadt im Norden des Landkreises München. An diesem Standort profitiert SÜSS MicroTec von einer idealen Infrastruktur durch die Nähe zum internationalen Flughafen und die Anbindung an zwei direkte Autobahnanschlüsse der A9 sowie von der ausgezeichneten Schienenanbindung. In Garching befindet sich neben der Firmenzentrale auch die Entwicklungs- und
Produktionsstätte der SÜSS Mask-Aligner (Maskenbelichtungssysteme) aus dem Segment der Lithografie.


 

Sternenfels | Deutschland

Die größte Produktionsstätte in Sternenfels beherbergt drei Produktlinien, Coater/Developer, Wafer-Bonder und Fotomasken-Equipment unter einem Dach. Der Standort Sternenfels, in der wirtschaftlich prosperierenden und landschaftlich attraktiven Region zwischen Karlsruhe und Stuttgart, erfüllt modernste Anforderungen an Entwicklungs-, Produktions- und Verwaltungsgebäude.

 


 

Corona | USA

In Corona, Südkalifornien, USA befindet sich neben der SÜSS MicroTec-Vertriebsniederlassung auch die Entwicklungs- und Produktionsstätte der UV-Projektionsbelichtungsgeräte sowie der laserbasierten Mikrostrukturierungssysteme.

 

 

 

 

Neuchâtel | Schweiz

SÜSS MicroTecs Spezialoptik und andere optische Elemente fertigt die Tochtergesellschaft SÜSS MicroOptics auf knapp 400 m2 Reinraumfläche in Hauterive (Neuchâtel) in der französischen Schweiz. Die Nähe zur renommierten Uhren- und Mikrotechnikindustrie sowie Schweizer Forschungseinrichtungen bietet einen erheblichen Standortvorteil.

 

 

 

 

 

Management

Vorstand

Dr. Franz Richter

Vorstandsvorsitzender (CEO)*

Im Anschluss an sein Maschinenbaustudium an der FH Münster/Westf. sowie seines Physikstudiums an der Universität Bielefeld und der Hochschule Darmstadt, begann Dr. Franz Richter (geboren am 22 Juli 1955 , Staatsangehörigkeit: deutsch), seinen beruflichen Werdegang im Forschungs- und Entwicklungsbereich bei Carl Zeiss. Im Jahr 1988 wechselte er in den Forschungs- und Entwicklungsbereich des Fraunhofer-Instituts für Lasertechnik. Nach diesen beruflichen Tätigkeiten als Wissenschaftler bei der Carl-Zeiss-Gruppe und im Fraunhofer-Institut war er 14 Jahre bei der SÜSS MicroTec SE tätig, die letzten sechs Jahre bis Ende 2004 als CEO. In diese Zeit fällt der Börsengang der SÜSS MicroTec SE 1999, sowie das zwischenzeitliche Wachstum auf einen Umsatz von über 200 Mio. EUR. Nach seiner Zeit als Präsident der Semiconductor Equipment Divison der Unaxis (heute OC Oerlikon), Pfäffikon, Schweiz, gründete und führte er als Vorstand seit 2007 die Thin Materials AG. Das Unternehmen beschäftigt sich mit der Prozessentwicklung für die 3D-Chip-Integration und wurde 2013 erfolgreich an die Nissan Chemical Industries, Ltd. Tokio verkauft. 

Dr. Richter ist heute u.a. auch Mitglied des Verwaltungsrates der Meyer Burger Technology AG, Gwatt, Schweiz sowie der COMET Holding AG, Flamatt, Schweiz und der Scint-X AB, Stockholm, Schweden. 

* Ab 07. September 2016. Bestellt bis 31. August 2022.

Oliver Albrecht

Finanzvorstand (CFO)

Oliver Albrecht ist seit 18. November 2019 Interim-Finanzvorstand der SÜSS MicroTec SE. Nach einer Ausbildung zum Bankkaufmann studierte er Betriebswirtschaftslehre an der Universität Mannheim und am Institut Commercial de Nancy. Von 1992 bis 2003 war er im Finanz- und Bankensektor als Direktor Investment Banking und Corporate Finance tätig. Zwischen 2003 und 2019 bekleidete er verschiedene Funktionen in der kaufmännischen Leitungsebene: Head of Finance bei der Peri GmbH in Weißenhorn, Finanzvorstand bei der centrotherm photovoltaics AG, Blaubeuren, Finanzvorstand bei der in Aalen ansässigen SHW AG und Geschäftsführer bei der Vetter Pharma-Fertigung GmbH & Co KG in Ravensburg.

 

Aufsichtsrat

Dr. Stefan Reineck

Aufsichtsratsvorsitzender*

Dr. Stefan Reineck begann seine berufliche Laufbahn bei der LEYBOLD AG, einem internationalen Anlagenbauer für die Halbleiter- und Datenspeicherindustrie, wo er zuletzt als Geschäftsbereichsleiter Anlagen der Datenspeichertechnik tätig war. Anschließend übernahm der promovierte Physiker die Geschäftsführung der Quartz Crystal Technology GmbH, eines mittelständischen Herstellers von Ausrüstungen für die Telekommunikationsindustrie. In den Jahren 2002 bis 2006 führte er als Vorstandsvorsitzender die auf Anlagenproduktion von optischen Datenspeichern und Photomasken spezialisierte STEAG HamaTech AG, bevor er im Anschluss daran als Unternehmensberater tätig wurde. Von April bis September 2007 war Dr. Stefan Reineck interimsweise Mitglied des Vorstands der SÜSS MicroTec SE, bevor er im Oktober 2007 in deren Aufsichtsrat wechselte.

Dr. Reineck ist Mitglied in folgenden Aufsichtsräten und vergleichbaren in- und ausländischen Kontrollgremien:

  • attocube systems AG, München, Deutschland
  • WITTENSTEIN SE, Igersheim, Deutschland
  • Phoseon Technology Inc., Hillsboro, USA

* Aufsichtsratsmitglied seit 1. Oktober 2007, Aufsichtsratsvorsitzender seit Juni 2009. Gewählt bis 2022

 

Jan Teichert

Stellvertretender Aufsichtsratsvorsitzender*

Jan Teichert begann seine berufliche Laufbahn bei einer renommierten Münchner Wirtschaftprüfungsgesellschaft. 1999 wechselte der Diplom-Kaufmann von der Wirtschaftsprüfung in das operative Geschäft der international ausgerichteten, börsennotierten Lindner Holding KGaA. Dort war er zuletzt als Prokurist in verantwortlicher Position im Finanzbereich tätig und trug maßgeblich zur erfolgreichen Neuausrichtung dieses Bereichs bei. Seit Januar 2003 ist er Vorstandsmitglied der Einhell Germany AG und verantwortet dort das Ressort Finanzen.

* Aufsichtsratmitglied seit 19. Juni 2008, Stellvertreter des Aufsichtsratsvorsitzenden seit Juni 2009. Gewählt bis 2022.

 

Gerhard Pegam

Aufsichtsratsmitglied*

Gerhard Pegam war bis zum 31. Januar 2012 President und Chief Executive Officer (CEO) von EPCOS, einem weltweit führenden Hersteller elektronischer Bauelemente, Module und Systeme mit Sitz in München/Deutschland. Gleichzeitig war er Mitglied des Board of Directors der Muttergesellschaft TDK-EPC Corporation, die 2009 aus dem Zusammenschluss von EPCOS mit dem Bauelementegeschäft des japanischen Elektronikkonzerns TDK hervorgegangen ist.

Gerhard Pegam blickt auf eine fast 30-jährige Berufserfahrung in der Elektro- und Elektronikindustrie zurück: Nach seinem 1981 erlangten Studienabschluss als Ingenieur der Elektrotechnik begann er seine Karriere 1982 als Entwicklungsingenieur bei Philips/Österreich. 1985 wechselte er zu Siemens, wo er auf dem Gebiet der passiven Bauelemente 14 Jahre lang in verschiedenen Führungspositionen tätig war. 1999 wurde Gerhard Pegam zum Mitglied des Vorstands der aus Siemens ausgegründeten EPCOS AG berufen. Dort war er zunächst als Chief Operating Officer (COO) mit der Führung der Geschäftsbereiche betraut, bevor er 2001 zum Vorsitzenden des Vorstands ernannt wurde.

Gerhard Pegam ist darüber hinaus Mitglied des Verwaltungsrats des Maschinen- und Anlagebau-Unternehmens OC Oerlikon Corporation AG und der Schaffner Holding AG.

* seit Juni 2011. Gewählt bis 2022.

 

Dr. Myriam Jahn

Aufsichtsratsmitglied*

Dr. Myriam Jahn begann ihre berufliche Laufbahn als Unternehmensberaterin bei der Boston Consulting Group in Düsseldorf. Im Anschluss an diese Tätigkeit wechselte sie zur Deutschen Gesellschaft für Mittelstandsberatung (DGM) und war dort schwerpunktmäßig im Bereich Strategieberatung tätig. Nach ihrer Dis-sertation und Promotion an der Universität Duisburg-Essen im Jahr 2003, wechselte sie zur ifm-Unternehmensgruppe nach Essen. Dort hatte sie verschiedene verantwortungsvolle Positionen in den Bereichen Vertrieb und Verwaltung inne. Von 2016 bis 2018 war Dr. Jahn Mitglied des Vorstands der TiSC AG, einem Tochterunternehmen innerhalb der ifm-Gruppe, und verantwortete dort den Vertriebsbereich. Seit Oktober 2018 ist Dr. Myriam Jahn Vorsitzende der Geschäftsführung der Q-Loud GmbH, dem IoT-Unternehmen der QSC AG. Dr. Jahn besetzt im Aufsichtsrat von SÜSS MicroTec die Kompetenzbereiche Digitalisierung und Industrie 4.0. Mit ihrer langjährigen Erfahrung in diesen Bereichen ergänzt sie die bestehenden Kernkompetenzen des Aufsichtsrats um zwei wichtige brandaktuelle Themengebiete.

* seit Mai 2017. Gewählt bis 2022.

 

Dr. Dietmar Meister

Aufsichtsratsmitglied*

Nach seiner Promotion in Wirtschaftswissenschaften an der Universität Mannheim begann Dr. Dietmar Meister 1990 seine berufliche Laufbahn bei der Daimler-Benz AG, wo er verschiedene Positionen innehatte. 1997 wechselte er zur Jungheinrich AG und leitete dort bis 2000 das Konzern-Controlling. Als nächstes übernahm er die kaufmännische Geschäftsführung für den Geschäftsbereich Kältetechnik in der Konzernzentrale der Linde AG in Wiesbaden. Von 2006 bis 2009 leitete er den Finanzbereich der Brose Gruppe. Als kaufmännischer Geschäftsführer / CFO der Vaillant-Gruppe zeichnete er sich von 2009 bis 2017 für Finanzen und Dienstleistungen verantwortlich. Seit 2019 ist er freiberuflich als Unternehmensberater tätig.
Dr. Dietmar Meister ist seit 2010 Mitglied des Regionalbeirats West bei der Commerzbank AG.

* seit Juni 2019. Gewählt bis 2022.

 

 

Kennzahlen

  in Mio. € (in €) GJ 2018 GJ 2017 GJ 2016 GJ 2015  GJ 2014  GJ 2013 
 Geschäftsentwicklung                
  Auftragseingang 191,0 200,3 161,1 188,6   134,3   135,0  
  Auftragsbestand zum 31.12. 84,7 133,4 101,5 117,6   75,6   85,7  
  Umsatz gesamt 203,9 166,5 177,6 148,5   145,3   134,5  
  Rohertrag 67,3 59,5 58,6 49,4 44,8 21,8
  Rohertragsmarge 33,0 % 35,7 % 33,0 % 33,3 % 33,6 % 16,2 %
  Herstellungskosten 136,7 107,0 119,0 99,2   96,5   112,7  
  Forschungs- und Entwicklungskosten 18,3 15,2 14,1 12,8 10,5 10,2
  EBITDA 15,7 18,0 15,3 9,2   12,6   -13,4  
  EBITDA-Marge 7,7 % 10,8 % 8,6 % 6,2 %   8,7 %   -10,0 %  
  EBIT 10,9 13,9 11,1 5,0   8,4   -19,4  
  EBIT-Marge 5,3 % 8,3 % 6,3 % 3,4 %   5,8 %   -14,4 %  
  Ergebnis nach Steuern 4,8 6,7 5,0 0,2   4,6   -16,0  
  Ergebnis je Aktie, unverwässert 0,25 0,35 0,26 0,01   0,24   -0,84  
 Bilanz und Cashflow                
  Eigenkapital 140,4 127,0 124,4 118,7   116,1   109,4  
  Eigenkapitalquote 70,3 % 62,9 % 69,2 % 67,0 %   69,1 %   60,8%  
  Eigenkapitalrentabilität 3,4 % 5,3 % 4,0 % 0,2 % 4,0 % -14,6 %
  Bilanzsumme 199,6 202,0 179,6 177,2   168,0   179,9  
  Net Cash 28,2 33,0 31,1 40,0   38,0   35,7  
  Free Cashflow1 -5,0 2,9 -9,1 1,3   2,1   4,1  
 Weitere Kennzahlen                
  Investitionen 6,9 6,5 3,6 3,4   3,0   12,2  
  Investitionsquote 3,4 % 3,9 % 2,0 % 2,3 %   2,1 %   9,1 %  
  Abschreibungen 4,8 4,1 4,2 4,2   4,2   6,0  
  Mitarbeiter zum 31.12. 881 779 711 698   659   655  

 

Firmengeschichte

1949 gründet Karl Süss in München ein Vertriebsbüro für die Mikroskope, Kameras und Laborausrüstung von Ernst Leitz Wetzlar. Im Nachkriegsdeutschland stellt der erste Firmensitz eine Garage dar. Bald bietet die Karl Süss GmbH auch Service- und Wartungsleistungen für die optischen Geräte und baut sich damit einen hervorragenden Ruf in Wissenschaftlerkreisen auf.

1962 wendet sich Siemens mit der Anfrage an Süss, ob das Unternehmen eine Maschine für das Thermokompressionsbonden von Transistoren herstellen könnte, im Rückblick ein Wendepunkt für das Unternehmen. Süss gibt Vertrieb und Wartung der optischen Geräte auf und beschäftigt sich fortan mit der Auftragsfertigung. Der erste Auftrag umfasste kleine Messtische mit Stereomikroskopen, die miteinander gebondet sind. 1963 entwickelt Süss den Prototyp des ersten Mask-Aligners MJB3 für Siemens.

Karl Süss und seine beiden Söhne Ekkehard und Winfried bauen das blühende Fertigungsunternehmen erfolgreich aus. Das Unternehmen muss seinen Sitz alsbald von München nach Garching verlegen, wo sich auch heute noch der Hauptsitz des Unternehmens befindet.

Die Entwicklung der Halbleiterindustrie bietet dem Unternehmen vielerlei neue Geschäftschancen. Süss beginnt, Diamantritzer und Spin-Coater herzustellen.

Der erste Mask-Aligner, der eine doppelseitige Belichtung ermöglicht, wird 1974 erfunden. Als anerkannter Experte für Fotolithografie für die Partner in Forschung und Entwicklung richtet sich Süss mittlerweile an Kunden aus der Fertigungsindustrie. 1975 lanciert das Unternehmen mit dem MJB55 den ersten Mask-Aligner für die Massenproduktion. 

Die Achtziger bringen für Süss die weltweite Expansion. Seine Aktivitäten in Übersee beginnt Süss mit einem Werk in Waterbury, Vermont/USA. 1983 wird eine asiatische Tochtergesellschaft in Thailand gegründet, der weitere Vertriebsbüros in Japan, China und Taiwan folgen. 

Süss bereitet sich auf die Herstellung von Bondern vor. Nebenbei unternimmt die Firma einen Exkurs in das sehr spezialisierte Feld der Röntgen-Stepper-Lithografie. In Dresden eröffnet Süss ein Werk für die Herstellung von Probern.

Süss erfüllt die wachsende Nachfrage nach Mikrosystemen 1989 mit der Lancierung des ersten Substrat-Bonders. In der Mikrosystemtechnologie lassen sich mit Substrat-Bondern heterogene Werkstoffe mit strukturierten Oberflächen verbinden. 1993 kann Süss das Produktportfolio um Device-Bonder erweitern.

1994 sterben Karl Süss und sein ältester Sohn Ekkehard Süss kurz nacheinander. Dies führt zu einer Reorganisation. 1999 geht das Unternehmen an die Börse. Dr. Winfried Süss, Sohn von Karl Süss, vertritt die Familie im Aufsichtsrat. Zwei Jahre später wird die neue Gesellschaftsform von der Umfirmierung aller Einzelunternehmen in SÜSS MicroTec begleitet.

Durch die Akquisition von Fairchild Technologies betritt das Unternehmen 2000 mit Beschichtungsanlagen die oberen Marktsegmente. Ab 2001 verstärkt das Geschäftsfeld Mikrooptiken der neu gegründeten SÜSS MicroOptics das lithografische Portfolio von SÜSS MicroTec. 2006 wird die erfolgreiche Gebrauchtanlagensparte in die Firma SÜSS MicroTec Reman ausgegliedert. 2007 wird die Produktlinie Device Bonder, zwei Jahre später die Prober-Linie verkauft. Die Eröffnung von Geschäftsstellen in Singapur und Korea verstärkt dagegen die Präsenz des Unternehmens in Asien.

Die letzten Jahre sind von der Konzentration auf die Kernkompetenzen gekennzeichnet. 2010 erwirbt SÜSS MicroTec mit Hamatech APE einen Anlagenhersteller für die Fotomasken-Prozessierungstechnologie. Im gleichen Jahr wird die Produktion von Substrat Bondern aus Waterbury/USA in das neu erworbene Werk in Sternenfels verlagert. Seither werden Beschichtungsanlagen, Bonder und Fotomasken-Prozessierungsanlagen im selben Werk hergestellt, das sich damit zum Kompetenzzentrum für die Nassverarbeitungstechnologie entwickelt. Mit der Akquisition von Tamarack Scientific 2012 ergänzt das Unternehmen sein lithografisches Portfolio um moderne Laserprozessierungstechnologie für die Übertragung von Mikrostrukturen. 

 

Veranstaltungen

SÜSS MicroTec nimmt regelmäßig an Messen und Konferenzen rund um die Welt teil. Treffen Sie dort unsere Experten und stellen Sie Fragen zu Materialien, Anlagen und der Verarbeitung Ihrer Anwendungen.

 

3D Systems Summit
27. - 29.Jan.2020 | Dresden, Germany

Visit SUSS MicroTec at the 3D & Systems Summit in Dresden, Germany and discuss latest developments and future directions of 3D integration and system in packaging manufacturing as well as applications. Meet our experts and address questions about materials, equipment and processing of your application.

SPIE Photonics West
04. - 06.Feb.2020 | San Francisco, CA, USA

Visit SUSS MicroOptics at Photonics West in San Fransisco, CA to learn about our refractive and diffractive micro-optics for fiber coupling, collimation and beam homogenizing. Our products are based on extensive experience in optical design, engineering, wafer-level manufacturing, metrology and packaging. We do not have a booth but our team will be there and will be happy to assist you. Do not hesitate to contact us to arrange a meeting!

SEMICON Korea
05. - 07.Feb.2020 | COEX Seoul, Korea | D720

Visit us at SEMICON Korea 2020 and discuss developments and future directions on 3D technology. Meet our experts and address questions about materials, equipment and processing of your application for the 3D Integration, Advanced Packaging, MEMS, Nanotechnology and Compound Semiconductor market.

Optical Fiber Communication (OFC)
10. - 12.Mar.2020 | San Diego, CA, USA

Visit SUSS MicroOptics at the Optical Networking and Communication Conference & Exhibition to learn about our refractive and diffractive micro-optics for fiber coupling, collimation and beam homogenizing. Our products are based on extensive experience in optical design, engineering, wafer-level manufacturing, metrology and packaging. We do not have a booth but our team will be there and will be happy to assist you. Do not hesitate to contact us to arrange a meeting!

Laser World of Photonics China
18. - 20.Mar.2020 | Shanghai, China

Visit SUSS MicroOptics at theLaser World of Photonics China to learn about our refractive and diffractive micro-optics for fiber coupling, collimation and beam homogenizing. Our products are based on extensive experience in optical design, engineering, wafer-level manufacturing, metrology and packaging. We do not have a booth but our team will be there and will be happy to assist you. Do not hesitate to contact us to arrange a meeting!