Digitale Beschichtungslösung

Automatisierter Tintenstrahldrucker JETx

Die fortschrittlichste Inkjet-Lösung von SUSS für die Massenproduktion in der Elektronikfertigung: Der JETx ermöglicht einen digitalen, präzisen und berührungslosen Materialauftrag und unterstützt Wafer bis zu 300 mm und Panels bis zu 24" × 30".

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Effizienz in der Produktion freisetzen

Hohe Zuverlässigkeit, hohe Produktivität, niedrige Betriebskosten: Der JETx kombiniert fortschrittliche Technologie, Flexibilität und automatisierte Handhabung mit maximalen Materialeinsparungen. Dank seiner überragenden Stabilität und extremen Präzision eignet er sich ideal für die Großserienproduktion in allen Märkten - von Halbleitern, elektronischen Displays und biomedizinischen Geräten bis hin zur chemischen Bearbeitung.

Maximale Vielseitigkeit

Die vollständig integrierte Produktionslösung kann praktisch alle Prozesse und Materialien verarbeiten. Die digitale Inkjet-Technologie liefert komplexe Muster, individualisierte Layouts und funktionale Schichten nach Bedarf und ermöglicht so eine selektive Beschichtung, präzise Topografie und digitale Anpassung für eine erstklassige Halbleiterproduktion.

Intelligente Metrologie-Funktionen

Druckgenauigkeit im Submikrometerbereich mit Echtzeit-Vision-Alignment: Die integrierte DI300-Messtechnik für visuell optimiertes Drucken erkennt Referenzpunkte und kompensiert Verformungen, Verzerrungen oder Substratverschiebungen und gewährleistet so eine präzise Musterausrichtung auf jedem Substrat, selbst bei hohem Durchsatz.

Grüner Prozess - Null Materialabfall

Die JETx-Tintenstrahltechnologie ermöglicht eine nachhaltige Fertigung als additive Technologie, die nur das exakt benötigte Material druckt, und zwar genau dort, wo es benötigt wird. Dadurch werden Abfälle und Entnahmeschritte vermieden, was im Vergleich zu herkömmlichen subtraktiven Verfahren zu Materialeinsparungen von bis zu 90 % führt.

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24/7 vollautomatische Produktion

Die voll integrierte Produktionslösung für kontinuierlichen Durchsatz: Intelligente Automatisierung für das Substrathandling, integrierte Prozesskontrolle und -steuerung sowie einfache Bedienung und Wartung ermöglichen einen Non-Stop-Betrieb - auch beim Nachfüllen.

Hauptmerkmale des automatisierten Tintenstrahldruckers JETx

Tintenstrahldruck der nächsten Generation

Der JETx bietet unübertroffene technische Möglichkeiten mit herausragender Flexibilität: Multimaterialdruck, Kompatibilität von Fotolacken bis hin zu Spezialbeschichtungen, präzise Schichtkontrolle und einfache Skalierbarkeit ermöglichen fortschrittliche Mehrschichtprozesse mit außergewöhnlicher Qualität und Produktivität.

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Multi-Material-Fähigkeit

Einfaches Scale-up und optimierte Produktivität: Drucken Sie bis zu vier Materialien gleichzeitig mit mehreren Druckköpfen und individuellen Tintensystemen, einschließlich lösungsmittelbasierter, wässriger, Hotmelt- und UV-härtender Tinten - ideal für fortschrittliche, mehrschichtige Prozesse und kundenspezifische Produktion.

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Universelle Materialhandhabung

Der AXS200 verarbeitet verschiedene Materialien wie Photoresists, Polyimide, Beschichtungen, Ätzresists und mehr und ermöglicht so die Entwicklung funktionaler Inkjets für moderne Halbleiter und angrenzende Märkte wie Leistungselektronik, Sensoren, MEMS, Displays und biomedizinische Anwendungen.

Schichten von 100 nm bis 60 µm

Von ultrafeinen Strukturen bis hin zu dickeren funktionalen Beschichtungen liefert das AXS200 präzise Schichten von 100 nm bis zu mehr als 60 µm und bietet damit maximale Vielseitigkeit für eine breite Palette von Funktionsmaterialien.

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