Universelle Bonding-Lösungen

SB8 Gen2 Wafer Bonder

Flexibel, anpassungsfähig, zuverlässig: Der SB8 Gen2 ist ein halbautomatisches, universelles Wafer-Bonding-System, das Wafer bis zu 200 mm handhaben kann und Substrate in verschiedenen Formen und Größen unterstützt.

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Ihre Vorteile

Die SB8 Gen2 ist einfach zu skalieren und unterstützt eine breite Palette von Bondtechnologien. Sie ist eine flexible Plattform, die für verschiedene Anwendungen und Prozessumgebungen entwickelt wurde. Zu ihren Anwendungsbereichen gehören sowohl Packaging als auch Strukturierungsprozesse in den Bereichen MEMS, LED, Advanced Packaging, 2,5D-Integration und 3D-Integration.

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Leicht anzupassen, schnell zu skalieren

Die SB8 Gen2 ist für nahtlose Übergänge von F&E über Pilotlinien bis hin zur Großserienproduktion konzipiert. Die Bondwerkzeuge - z. B. offen oder geschlossen - können schnell gewechselt werden, was eine schnelle Anpassung an unterschiedliche Wafergrößen und Bondprozesse ermöglicht.

Ideal für verschiedene Klebetechnologien

Dank ihrer breiten Palette an programmierbaren Prozessparametern bietet die Plattform eine ideale Umgebung für eine Vielzahl von Klebetechnologien - einschließlich anodischem Kleben und anodischem Triple-Stack-Kleben, Schmelzkleben, eutektischem Kleben, Kleben und Diffusionskleben.

Kompakte Stellfläche, hohe Leistung

Mit einer Grundfläche von 0,6 m x 1,2 m ist die SB8 Gen2 besonders platzsparend und passt mühelos in Ihre Produktionsumgebung.

Ihr universelles Wafer-Bonding-System

Hauptmerkmale des SB8 Gen2 Wafer Bonders

Ausgestattet mit einer einstellbaren, leistungsstarken Bondkammer passt sich der SB8 Gen2 leicht an wechselnde Prozessanforderungen an. Temperaturregelung, Bondkraft und Kammerdruck können flexibel eingestellt werden, um Ihre spezifischen Produktionsanforderungen zu erfüllen.

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Individuelle Abstandshalterbetätigung (SSR)

Die SB8 Gen2 ermöglicht die sequenzielle Spacer-Entfernung (SSR) und gibt dem Bediener über das Bondrezept die volle Kontrolle über jeden Spacer. Die Spacer werden nacheinander entfernt, wodurch sichergestellt wird, dass keine Klemmkraft ausgeübt wird - dies minimiert die Waferverschiebung und ermöglicht eine präzise Ausrichtung nach dem Bonden.

Präzise Temperaturkontrolle

Mit ihrem weiten Temperaturregelbereich von 30 °C bis 500 °C, der direkt auf der Oberfläche der Werkzeugplatte gemessen wird, garantiert die SB8 Gen2 gleichbleibende, hochwertige Ergebnisse. Es kann eine Rampengeschwindigkeit von bis zu 30 K / min erreicht werden.

Einheitliche Bindungskraft

Die SB8 Gen2 bringt Bondkräfte von 300 N bis 20 kN auf, mit hoher Wiederholgenauigkeit und bestmöglicher Gleichmäßigkeit. Das Präzisionssteuersystem und der pneumatische Werkzeugkolben sorgen für zuverlässige Ergebnisse bei allen Klebeprozessen.

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