Plattform für die Fotomaskenverarbeitung
Maximieren Sie Ertrag und Qualität: Die ASx-Serie ist die vollautomatische Plattform für die Verarbeitung von Fotomasken für fortschrittliche Bake-, Resist Strip & Clean- und Entwicklungsprozesse auf Wafern von 250 nm bis 65 nm in einem einzigen System.
Die ASx-Serie kombiniert branchenführende Präzision mit maximaler Zuverlässigkeit und Leistung, um die kritischen Herausforderungen der fehlerfreien Verarbeitung von Masken zu meistern, die mit 248nm und 193nm Lithografie belichtet werden. Und das alles bei überragender Reinigungseffizienz und unübertroffenen Betriebskosten.
Kompakte Stellfläche: Mit 1200 × 1200 mm ermöglicht die ASx-Serie eine maximale Raumnutzung und niedrigere Betriebskosten - ohne Kompromisse bei der erstklassigen Verarbeitungsleistung.
Technische Präzision trifft auf hervorragende Fertigungsqualität
Die ASx-Serie bietet kompromisslose technische Leistung durch intelligente Temperatursteuerung, automatisierte Prozessoptimierung und defektminimierende Entwicklungstechnologien, die die komplexe Fotomaskenverarbeitung in konsistente, branchenführende Ergebnisse verwandeln.
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