Beschichtungslösungen

AS8 Manuelle Sprühbeschichtungsanlage für hohe Topografien

Strukturierung über anspruchsvolle Topografien hinweg: Der manuelle Sprühbeschichter AS8 ist die ideale Lösung für Forschung und Entwicklung sowie für die Kleinserienfertigung von Substraten bis zu 200 mm und quadratischen Substraten bis zu 6" Kantenlänge. Das kompakte System kombiniert intelligente Benutzerfreundlichkeit mit der SUSS-Beschichtungstechnologie für gleichmäßige, reproduzierbare Beschichtungen.

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Gleichmäßige, zuverlässige Beschichtung - auf jeder Topografie

Der AS8 ermöglicht eine gleichmäßige, konforme Lackabscheidung selbst auf den anspruchsvollsten 3D-Strukturen. Die nahtlose Integration von programmierbaren Sprüh- und Reinigungsparametern vereinfacht komplexe Beschichtungen und erhöht die Ausbeute - und das alles in einem kompakten Gehäuse, das für Forschung und Entwicklung sowie für die Kleinserienfertigung ausgelegt ist.

Perfekte Beschichtungen für komplexe Geometrien

Zuverlässig über schwierigste Oberflächenstrukturen hinweg: Die Präzisionssprühtechnik des AS8 überwindet extreme Topografien und ermöglicht eine gleichmäßige Schichtbildung auf komplexen Substraten.

Unerreichte Gleichmäßigkeit der Beschichtung

Konforme Beschichtungen mit präziser Kantenabdeckung, die die Ansammlung von Resist in Gräben verhindert, sorgen für saubere Linien und gleichmäßigen Schutz der Mikrostruktur auf dem gesamten Substrat.

Proprietäres Sprühdesign

Profitieren Sie von der Prozessstabilität und Reproduzierbarkeit, die durch das exklusive Sprühdesign von SUSS ermöglicht wird, das für konsistente, zuverlässige Ergebnisse bei jeder Charge sorgt - ideal für anspruchsvolle Forschung und Pilotproduktion.

Hauptmerkmale des AS8 Sprühbeschichters

Vollständig konfigurierbare Beschichtungsleistung

Der AS8 ist auf Flexibilität und Präzision auf Substratebene ausgelegt, insbesondere für Forschung und Pilotproduktion. Das hochentwickelte Lackversorgungssystem und die programmierbaren Rezepturen ermöglichen eine maßgeschneiderte Prozesssteuerung für alle gängigen Wafer- und Substratformate sowie eine nahtlose Skalierung in der Zukunft.

Flexibilität des Substrats

Sofortige Anpassung an wechselnde Anforderungen für runde und quadratische Platten bis zu 6": Wählen Sie den Doppeldüsenmodus für Substrate mit Ø150 mm und Ø200 mm oder den Einzeldüsenmodus für Substrate mit Ø3'', Ø100 mm, Ø150 mm und Ø200 mm.

Hochpräziser X/Y-Tisch mit modernen Sprühdüsen

Profitieren Sie von einem präzisen z-Achsen-Verstellbereich von bis zu 45 mm und einer Düsenverstellung von 67,5 mm bis 107,5 mm für maßgeschneiderte Prozessgeometrien. Mit Sprühachsengeschwindigkeiten von bis zu 500 mm/s und Beschleunigungen von bis zu 9 m/s² bietet der AS8 punktgenaue Beschichtung und Reproduzierbarkeit. Die Doppelsprühdüsen und die separate Lösemitteldüse ermöglichen eine präzise, flexible Reinigung und eine schnelle Rezepturausführung.

Futterdrehung bis zu 1.000 U/min

Für eine optimale Lackverteilung und nahtlose Verarbeitung verfügt der AS8 über ein optimiertes Spannfutter und eine Schüssel mit einer maximalen Rotationsgeschwindigkeit von 1.000 U/min. Die beheizte Spannvorrichtung und das fortschrittliche Spritzringdesign minimieren Verunreinigungen und unterstützen einen reibungslosen Betrieb.

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