System zum Einbrennen und Entwickeln von Fotomasken
Die erste Wahl der Industrie: MaskTrack Smart BD kombiniert Spitzentechnologie, maximale Ausbeute und außergewöhnliche Vielseitigkeit und liefert erstklassige Ergebnisse im gesamten Bereich des Backens und Entwickelns.
MaskTrack Smart BD setzt neue Maßstäbe in der modernen Lithografie. Intelligente Automatisierung, modulare Anpassung und herausragende Leistung gewährleisten optimale Ergebnisse, hohe Vielseitigkeit und eine zuverlässige Produktion mit hoher Ausbeute von bis zu 32-nm-Wafern nach Industriestandards in einer einzigen Plattform.
Genaue und konsistente Ergebnisse: Der automatische Algorithmus steuert die Oberflächentemperaturen der Fotomasken (90°C - 130°C) präzise, um den angestrebten CD-Mittelwert genau zu erreichen. Eine integrierte Rückkopplungsschleife nutzt CD-Daten in Echtzeit, um die Homogenität kontinuierlich zu verbessern und eine zuverlässige, hochwertige Leistung zu garantieren.
Anspruchsvolle Fertigung
Lagerung, Handhabung oder Verarbeitung von Masken: MaskTrack Smart BD gewährleistet eine hochkomplexe Fotomaskenherstellung mit hoher Produktintegrität im industriellen Maßstab in einer vollständig kontrollierten und extrem sauberen Umgebung.
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