HMx-Baureihe
Die optimale Lösung für F&E und Kleinserien von anspruchsvollen Substraten: Die HMx-Serie bietet hochwertige Substratbearbeitung und spezialisierte Reinigungsfunktionen für Fotomasken, Optoelektronik, OLED und spezielle Halbleiter-Backend-Anwendungen in einem kleinen, kompakten Gehäuse.
Kompaktes Reinraumdesign und herausragende Flexibilität: Die HMx-Serie vereint hochmoderne Entwicklungs-, Ätz- und Reinigungsfunktionen mit einer umfassenden Substrathandhabung. Die manuelle Beladung mit automatisierten Prozessschritten gewährleistet bewährte Zuverlässigkeit, während moderne Steuerungen und fortschrittliche Reinigungstechniken maximale Sicherheit für empfindliche Substrate bieten.
Maximale Bediener- und Prozesssicherheit: Die HMx-Serie umfasst sichere Chemikalienlager, doppelte Dosiersysteme und ergonomische Ladebereiche für eine sichere Handhabung bei jedem Schritt.
Passt in jede Umgebung: Mit einer Stellfläche von nur 960 × 1120 mm für den Unterschrank und 300 × 1070 mm für den Medienschrank bietet die HMx-Serie leistungsstarke Leistung in einem kompakten Design.
Maßgeschneidert auf die Bedürfnisse des Halbleitermarktes
Mit innovativen Dosier- und Reinigungstechnologien liefert die HMx-Serie gleichbleibende, fehlerfreie Ergebnisse. Das modulare Design unterstützt mehrere Prozessoptionen und ermöglicht die Anpassung an unterschiedliche Anwendungen und strenge Gleichmäßigkeitsanforderungen sowohl für Pilotprojekte als auch für die Kleinserienproduktion.
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