Automatisierte Beschichtungslösungen
Vielseitig und zuverlässig: Der ACS200 Gen3 ist die perfekte Beschichtungs- und Entwicklungslösung sowohl für Forschung und Entwicklung als auch für die Großserienfertigung von 100 mm bis 200 mm Wafern. Dank seiner modularen Architektur lässt sich die Plattform leicht an Ihre spezifischen Anforderungen anpassen und gewährleistet nahtlose Skalierbarkeit und einen stabilen Betrieb.
Mit seiner robusten Automatisierung und den flexiblen Modulen gewährleistet das ACS200 Gen3 eine zuverlässige Verarbeitung sowohl in der Forschung als auch in der Großserienproduktion. Die hohe Reproduzierbarkeit garantiert gleichbleibende Ergebnisse und Ausbeute, während das hochwertige Design Ausfallzeiten minimiert und sich an Ihre spezifischen Anforderungen anpasst.
Erleben Sie hohe Flexibilität dank konfigurierbarer 3M-, 5M- und 6M-Frames und 100- bis 200-mm-Waferverarbeitung mit schnellem Werkzeugwechsel. Die skalierbare, vor Ort aufrüstbare Cluster-Architektur und die marktführenden Scheduler-Eigenschaften sorgen für maximale Produktivität.
Der Beschichter für jeden Bedarf
Von Redistribution Layer (RDL) bis zu Microelectromechanical System (MEMS) und darüber hinaus - der ACS200 Gen3 erfüllt die unterschiedlichsten Anforderungen mit gleichbleibend hoher Qualität.Ob dünne oder dicke Resists oder unterschiedliche Entwicklermedien - erwarten Sie jedes Mal perfekte Ergebnisse.
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