Beschichtungslösungen
Der ECD8 vereint Flexibilität, Sicherheit und Benutzerfreundlichkeit in einem kompakten System für Substrate bis zu 200 mm. Erhältlich als Beschichter oder Entwickler mit anpassbaren Konfigurationen, ist das System die ideale Wahl für Forschung und Entwicklung sowie für die Produktion kleinerer Mengen.
Erleben Sie das intelligente Design des ECD8: Von der mühelosen Zentrierung der Wafer bis hin zur vollständigen Prozessübersicht ist jedes Detail auf die Vereinfachung der Arbeitsabläufe, die Platzersparnis und die Sicherheit der Bediener im täglichen Betrieb zugeschnitten.
Mit einem einfachen Drehknopf und einer Rutschkupplung können Wafer schnell und genau zentriert werden. Da die Zentriervorrichtung alle runden Wafergrößen universell abdeckt, ist eine gleichmäßige Ausrichtung ohne komplizierte Einstellungen gewährleistet.
Konsistente, hochwertige Ergebnisse
Der ECD8 bietet eine präzise Steuerung für eine breite Palette von Prozessen. Hohe Schleudergeschwindigkeiten, starke Beschleunigung, programmierbare Rezepte und die Unterstützung von Resisten bis zu 4.000 cp sorgen für reproduzierbare Ergebnisse, auf die Sie sich verlassen können.
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