ACS300 Gen3 涂胶与显影机

用于先进封装应用的强大解决方案

ACS300 Gen3作为模块化系统,是为满足量产环境而专门设计的。它提供了复杂的涂胶、显影和烘烤功能,可轻松地适应各种工艺。其最大程度的工艺控制,有效地支持广泛的使用领域。结合这一优点,再加上有8个旋涂器模块,该系统仍然是市面上占地面积最小的系统;这些品质都有利于减小购置成本,使得该设备对于任何具有挑战性的先进封装应用(如圆片级芯片封装、扇出圆片级封装、铜柱倒装芯片封装和3D封装)都不可或缺。

亮点

  • 占地面积小
  • 高效的化学品处理
  • 灵活的工艺配置
  • 高吞吐量的能力
  • 稳定的工艺结果
ACS300 Gen3 涂胶与显影机

一个工具适用于所有先进的包装应用

通过在一个系统中提供多种工艺技术,如光阻剂、聚酰亚胺和PBO涂层,ACS300 Gen3提供了高效率。它还为每个模块提供了多达五种抗蚀剂或四种显影剂的能力,以实现最佳的工艺灵活性。此外,通用的热板设计消除了对不同抗蚀剂或PI类型的特定热板的需要。ACS300 Gen3允许同时处理200和300毫米的晶圆,而不需要进行机械转换。

一致的过程监控导致高产量

ACS300 Gen3可以实现高效的模块堆叠,从而节省了洁净室中昂贵的空间。多达12个模块可以方便地在三层模块系统中相互排列,而该工具的多种节省化学品的功能实现了进一步的节约。无论是SUSS MicroTec公司专有的GYRSET技术、新颖的分配技术还是化学品再循环系统,该工具都能经济地使用化学品,并符合最严格的可持续发展标准。

在吞吐量方面表现出色

当使用可选的第二个机器人系统时,ACS300 Gen3在三步流程中达到了高达240 wph的吞吐率。一个先进的过程控制系统优化了处理时间:调度算法可以有选择地交换,以确保瓶颈步骤的时间段得到充分的利用。此外,诸如在高温下的显影剂和流动模式的特点也减少了加工时间。

一致的过程监控导致高产量

使ACS300 Gen3脱颖而出的是其高度的过程控制。它可以连续记录所有相关参数的过程数据,如温度、流量、压力、体积、清洗率等。数据记录允许精确调整过程参数、可重复的结果和快速识别潜在的薄弱点。过程变得更加稳定和可重复,产量也可以显著提高。

详细情况 : 涂料

  • 旋涂

详细情况 : 发展中

  • 浸置式显影
  • 喷雾显影

选择

  • GYRSET®
  • 闭环式流量控制器
  • 倒置胶瓶
  • 调度器-软件