ASx 系列
SUSSs ASx 系列为加工掩模和 250 nm 至 90 nm 技术节点提供了先进的烘烤、显影和清洁方法。其可靠性、稳定性和高性能使平台能够满足无损加工掩模的要求，用于 248 nm 和 193 nm 光刻工艺。
亮点
- 最佳的第一遍清洗效果，从而延长光掩模的使用寿命
- 占地面积小（1200 x 1200 mm），低总体拥有成本
- 高可靠性和可用性
- 已售出超过250台Asx
- 最尖端的先进烘烤技术——适合最小14 nm节点及以上
SUSSs ASx 系列为加工掩模和 250 nm 至 90 nm 技术节点提供了先进的烘烤、显影和清洁方法。其可靠性、稳定性和高性能使平台能够满足无损加工掩模的要求，用于 248 nm 和 193 nm 光刻工艺。