SD12デベロッパーおよびクリーナー

卓越した柔軟性

SD12 は、最適化されたチャックを使用してさまざまな種類の基板を処理でき、優れた汎用性を備えています。壊れやすい基板（InP、GaAsなど）でも確実に処理できます。SD12 は、特別なツールと簡単に広範囲な調整が可能なプロセスパラメーターにより、溶剤媒体を含む多くのプロセスアプリケーションに適しています。ステップ時間、スピン速度、加速と減速、ディスペンスアームの位置、スイベルの動きなどのパラメーターをプログラム可能な機能により、システムは最適化されたプロセスフローを実現し、再現性がある安定したプロセス結果をもたらします。SUSS MicroTecの高度なディスペンス技術を利用すSD12は、現像、リフトオフ、および洗浄の3つの重要なプロセスを効率的にサポートします。

斬新なディスペンス技術

SD12は、さまざまなプロセスのニーズに対応した、幅広いディスペンス技術を提供します。単純なパドルまたはスプレー現像から、浸漬および最終リンスのためのパドルディスペンスに加えて、レジストと金属をリフトオフするための高圧が必要なリフトオフ技術まで、広範囲なプロセス処理が可能です。最適な洗浄結果を得るためにメガソニックトランスデューサーのサポートが必要な場合がある、テープフレームに取り付けられたウェハーからの接着剤の洗浄などの特別なアプリケーションにも適用できます。上記のディスペンス技術はすべて、SD12のディスペンスアームで処理することができます。

インテリジェントな溶媒ベースの媒体 システム

SD12は、溶剤ベースの媒体を処理する特別なニーズに合わせて調整されています。化学処理薬品と接触するすべての部品は、浸食されにくい素材で作られています。排水管は、屋内排水管または廃棄物キャニスター(容器)に接続できます。

溶剤ベースの媒体は、排気装置を備え、漏れ検出器で保護された媒体保存容器に安全に保管されます。流量制御システムと圧力調整器が媒体の流れを管理します。媒体温度を制御して、最適なプロセス結果を確保できるオプションもあります。全体的な媒体消費量を削減するために、媒体の再循環システムを取り付けることも可能です。

簡単で安全な操作

SD12は、操作と保守が簡単です。ボタンを押すだけで、プロセスパラメーターと媒体データを呼び出すことができます。プログラム可能なレシピは、ワークフローを加速し、再現性を高めます。装置の操作とメンテナンスを容易にするために、すべての部品へのアクセスが簡単に設計されています。また、この装置はオペレーターの安全性を第一に考えて設計されています。自動安全ガラスドアを備えた密閉されたプロセスチャンバーは、密閉されたプロセス環境を保証し、プロセスの監視を容易にします。さらに、インターロックセンサーにより、装置の安全な操作が保証されています。