ACS200 Gen3 塗布機和顯影劑

將專業知識與創新相結合

SUSS ACS200 Gen3 平臺是創新和經過生產驗證的元件完美結合的成功結果。它最多可容納 4 個濕法工藝模組和最多 19 個板,完全適合大批量生產 (HVM) 的需求。模組和技術無與倫比的配置靈活性不僅滿足了先進封裝、MEMS和LED市場的要求,還彌合了研發和HVM之間的差距。

強調

  • 無與倫比的配置靈活性
  • 服務於先進封裝、MEMS和LED市場的HVM和研發
  • 市場上任何 200 mm 塗布機/顯影機中工藝模組數量最多
ACS200 Gen3 塗布機和顯影劑

多功能底架提供多種配置可能性,例如多達 4 個濕法工藝模組(塗布機和/或顯影機)和多達 19 個板,或 2 個濕法工藝模組和 2 個噴塗機模組,最多 13 個板。

ACS200 Gen3 可以在每個濕法工藝模組上堆疊多達 3 個板,在第 5 個模組上堆疊多達 7 個板,因此在同類產品中允許最大的模塊數量。

不同的 I/O 系統可滿足任何需求。2x I/O滿足研發要求,而新設計的自動載入盒站可實現連續運行,而無需停止系統進行盒式磁帶更換。

新型塗布機轉鼓提供最先進的開放式轉鼓塗層和獲得專利的GYRSET®封閉蓋塗層技術。轉鼓設計提供了使用一次性工藝轉鼓進行操作的可能性,而不會影響流動動力學或排氣流量。由於易於清潔轉鼓並減少了維護時間,因此簡化了不方便或不尋常材料的操作。ACS200 Gen3 可以在每個塗布機模組的 2 個不同的點膠臂上分離溶劑和抗蝕劑線,因此遵循提供出色產量的道路。

對於開發應用,可以配置水性或溶劑顯影模組。提供多種不同的噴嘴類型,以滿足任何工藝要求。

與SUSS曝光系統的直接連接提高了產量,因為完整的光刻工藝流程不需要操作員干預。

可選的過濾風扇單元和工具的溫度/濕度控制可實現工藝穩定性、可重複性,並最終實現高產量。

詳細情況 : 塗佈

  • 旋塗
  • 噴塗

詳細情況 : 顯影

  • 水坑發育
  • 噴霧顯影

選項

  • GYRSET®
  • 倒置膠瓶
  • 調度器-軟體
  • 翹曲晶圓的處理
  • AltaSpray®
  • 烘烤
  • 蒸汽預處理
  • 邊緣處理