每一次接合都有最高的可靠性

永久性晶圓接合系統

SUSS' 永久晶圓接合系統提供現今先進封裝所需的精確度與可靠性。卓越的接合對准器技術和適用於各種晶圓和材料的可擴展平台,確保了從研發到大批量生產的器件晶圓品質、最高良率和未來就緒的接合。

DSC00169_highRes.jpg

跨應用的可靠接合

耐用、無空隙的晶圓接合與精確的控制: SUSS' 系統可為每個製程提供高後膠接準確度、品質與良率。

頂級產品

探索我們的頂級產品

XBC300 Gen2 D2W/W2W

混合鍵合平台,將 W2W、集体式 D2W 及序列式 D2W 鍵合整合於單一系統。
了解更多
XBC300~1.PNG
自動化

XBC300 Gen2 D2W

XBC300 Gen2 D2W 是您在 200mm 和 300mm 基板上進行序列式晶粒到晶圓混合鍵合的全自動解決方案。
了解更多
XBC300 Gen2 D2W hybrid bonding platform by SUSS
自動化

XBS300 W2W

XBS300 W2W 混合鍵合平台專為對準 200mm 和 300mm 晶圓的自動混合熔融鍵合而設計。
了解更多
自動化

XBS200

適用於大批量生產的通用、自動化晶圓接合平台,可對準晶圓尺寸達 200 mm 的晶圓進行接合。
了解更多
XBS200 wafer bonder platform by SUSS
自動化

SB8 Gen2

通用半自動化晶圓接合系統,可處理最大 200 mm 的晶圓。
了解更多
SB8_Gen2-1600x1200.png
半自動

XB8

通用、半自動化的高強度晶圓壓合機,可支援晶圓尺寸達 200 mm 的基板。
了解更多
XB8-1600x1200.png
半自動

主要優勢

嚴密的製程控制

業界領先的技術可提供次微米級的對位精度和無空隙效果,確保包裝的高品質和耐用性。

無與倫比的彈性

模組化配置支援廣泛的晶圓、晶圓堆叠和先進的封裝材料,是高密度混合、MEMS、LED 和新興器件架構的理想選擇。

經驗證的批量製造

SUSS' 永久接合解決方案專為高吞吐量、高風險的半導體生產而設計,可確保在各種規模下的可靠性、再現性和元件完整性。

DSC08565_highRes.jpg

智慧型量測技術實現最佳品質

SUSS' 永久接合系統中的整合式量測技術可確保亞微米層對準及長期穩定性。透過捕捉拓樸結構、驗證對位以及監控製程轉移,系統可及早偵測到偏差。這可保障混合和直接製程的鍵合品質。

增強的對位精確度

拓樸掃描、智慧型基准標記放置以及嚴格的對準精度,可確保最高的精確度。
_DSC05~1.JPG

整合品質控制

線上監控可及早偵測到偏移,確保穩定、可重複的接合及更高的良率。
garching_-8783.jpg