RCD8 Coater & Developer

光阻塗佈與顯影平台

RCD8塗佈與顯影平台可依客戶需求進行客製配置,例如從基本的手動旋轉塗佈機到半自動的GYRSET®式塗佈機,以及浸置與噴霧顯影工具,適用於日常研發工作至小規模生產等用途。

亮点

以最低成本發揮最大用途。

所有相關元件皆符合人體工學設計,使用操作方便。

採用相容設計,可從RCD8平台將製程輕鬆轉移至SUSS 量產工具。

SUSS MicroTec Developer RCD8

光阻塗佈與顯影平台

由於具備廣泛的配置功能,RCD8幾乎可提供不同基板材料與形狀的塗佈與顯影。此平台可裝配各種經實驗過的下料系統與幫浦配置,以處理黏度小於1 cps至55,000 cps的光阻。

若日後需改裝,此多功能機台可使用各種選項直接於現場升級,完全滿足您未來的使用操作需求。

旋轉式塗佈是在旋轉基板均勻地塗以溶液。溶液,如感光塗層,通常分注在晶圓中心。隨後的加速度、最終轉速和各步驟的持續時間,使得塗料的一部分經離心分離形成厚度均勻的膜。除了處理參數外,溶液或感光塗層的物理性質決定了膜的厚度。

SUSS MicroTec 的 GYRSET 專利技術具有顯著的優勢。GYRSET的原理是,塗佈室在塗膠過程中同步旋轉,從而有效降低了旋轉基板上方的空氣湍流。在封閉的塗佈室中空氣比通常用溶劑 時更快速地飽和,使塗層乾燥緩慢,從而更均勻地分佈在基板上。這將大幅減少材料用量。

旋轉式塗佈不適用於有凹凸圖形的結構。

特色與優點

  • 旋轉式塗佈為操作簡單且廣泛應用的方法
  • 通過 GYRSET 專利塗膠技術減少材料消耗並降低成本

Available for:

Automated Coater and Developer

Semi-Automated Coater and Developer

このプロセスでは、露光された基板に所定量の現像液を塗布し、適度に回転させて配分します。その際、現像液の表面張力によって、基板上に現像液が溜まった状態 (英語で「Puddle」) になります。現像時間が経過した後、現像液は高速回転によりウエハから飛ばされます。そして、脱イオン水でウエハを洗浄し、再び高速回転によって乾燥します。この手法のメリットは、現像液が少量しか必要でないこと、そして良好な現像結果が得られることです。

パドル現像方式は、大量の現像済みフォトレジストを取り除く場合や、起伏が高いパターンによって現像液の入れ替えが妨げられる場合など、現像液の飽和時には適していません。このような場合には、多段式パドル現像方式またはスプレー現像方式が使用されます。

特色與優點

  • M化学品用量低

Available for:

Automated Coater and Developer

Semi-Automated Coater and Developer

選配

SUSS MicroTec’s proprietary GYRSET® technology helps to significantly improve spin coating process results by improving the conditions during coating. With the help of a rotating cover a turbulence-free atmosphere, highly saturated with solvents, can be created. This not only makes the outcome more independent from the ambient temperature and humidity. It also substantially reduces the amount of material required to coat a wafer therefore being beneficial for environmental sustainability.

The GYRSET® technology is highly suitable for processing thick resists.

Highlights

  • Prevents back-side contamination
  • Little surface roughness
  • Improves surface planarity
  • Reduces chemical consumption 

Available for:

Automated Coater and Developer

Semi-Automated Coater and Developer

Downloads
RCD8 Datasheet 661kb
SUSS Product Portfolio 990kb
Technical Publications
Service