LabSpin Series Spin Coater & Developer

實驗室塗佈及顯影解決方案,適用於尺寸在150 及 200mm之晶圓

SUSS MicroTec的 LabSpin 平台為次世代的手動光阻塗佈機/顯影系統,是專為實驗室及研發人員而開發。LabSpin 系統是為各種微影化學藥劑而設計,可透過先進的Cup設計,完成均勻、精確、重覆性高的塗佈結果。

亮点

Large process variety including spin coating and puddle developing

Edge bead removal

Adjustable dispense position allows for center dispense and edge coating

LabSpin 系統共有兩款,分別為桌上 (TT) 型或整合入濕式工作臺 (BM)的版本,皆適用於尺寸在150 或 200mm 之晶圓。LabSpin 光阻塗佈機可處理各式各樣的基材,從尺寸在 150/200mm 以下的晶圓或100x100mm 或 150x150mm 的方形晶片,且由於體積尺寸小,因此僅需要使用最小的空間。

亦可選購各種專為符合任何應用需求而設計的 LabSpin 選配。LabSpin 系統除了提供旋轉式光阻塗佈外,亦可另外選購注射器或自動配料系統、邊緣塗佈、去除邊緣球狀物或浸潤式顯影。

旋轉式塗佈是在旋轉基板均勻地塗以溶液。溶液,如感光塗層,通常分注在晶圓中心。隨後的加速度、最終轉速和各步驟的持續時間,使得塗料的一部分經離心分離形成厚度均勻的膜。除了處理參數外,溶液或感光塗層的物理性質決定了膜的厚度。

SUSS MicroTec 的 GYRSET 專利技術具有顯著的優勢。GYRSET的原理是,塗佈室在塗膠過程中同步旋轉,從而有效降低了旋轉基板上方的空氣湍流。在封閉的塗佈室中空氣比通常用溶劑 時更快速地飽和,使塗層乾燥緩慢,從而更均勻地分佈在基板上。這將大幅減少材料用量。

旋轉式塗佈不適用於有凹凸圖形的結構。

特色與優點

  • 旋轉式塗佈為操作簡單且廣泛應用的方法
  • 通過 GYRSET 專利塗膠技術減少材料消耗並降低成本

Available for:

Automated Coater and Developer

Semi-Automated Coater and Developer

このプロセスでは、露光された基板に所定量の現像液を塗布し、適度に回転させて配分します。その際、現像液の表面張力によって、基板上に現像液が溜まった状態 (英語で「Puddle」) になります。現像時間が経過した後、現像液は高速回転によりウエハから飛ばされます。そして、脱イオン水でウエハを洗浄し、再び高速回転によって乾燥します。この手法のメリットは、現像液が少量しか必要でないこと、そして良好な現像結果が得られることです。

パドル現像方式は、大量の現像済みフォトレジストを取り除く場合や、起伏が高いパターンによって現像液の入れ替えが妨げられる場合など、現像液の飽和時には適していません。このような場合には、多段式パドル現像方式またはスプレー現像方式が使用されます。

特色與優點

  • M化学品用量低

Available for:

Automated Coater and Developer

Semi-Automated Coater and Developer

在噴霧式顯影期間曝光的基板會以低速旋轉。曝光區域會不斷覆蓋以剛噴灑上的顯影劑以免飽和。相對於浸置式顯影,噴霧式顯影具有可用於厚膜光阻以及進行大範圍顯影的優點。之後使用去離子水沖洗並持續乾燥旋轉便完成整個顯影過程。

特色與優點

  • 即使於厚膜光阻下亦能對整個晶圓均勻顯影。

Available for:

Automated Coater and Developer

Semi-Automated Coater and Developer

LabSpin Configurator

What are your needs?

Beside some overall requirements all labs have different needs which arise from their specialized topics. This is why SUSS MicroTecs LabSpin tools are well designed and rock solid built basic coaters but can be equipped with various carefully selected options.

This configurator will guide you in a few easy steps to your perfect new lab tool.

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Downloads
Datasheet LabSpin6 & LabSpin8 350kb
SUSS Product Porfolio 990kb
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