AS8 and AS12 Coater

適用於高表面崎嶇的手動噴霧式光阻塗佈機

SUSS所開發的新型AltaSpray塗佈技術,使用一種能夠在不同的3D微結構上沈積高解析度光阻膜的創新光阻沈積方法,其可以確保在不同的結構,如90°的角落、KOH蝕刻洞、V形溝槽或透鏡上維持一致性的等角塗佈。

AS8/AS12光阻塗佈機可提供所有一般的實驗室與試產需求。它是一台適用於從幾微米到高達600微米或更高表面崎嶇的3D微結構製造上的理想設備。

SUSS AS8/AS12光阻塗佈機也能夠運用在量產應用上

亮点

適用於在嚴重的表面崎嶇差異上形成圖樣的促成科技

能夠可靠地覆蓋上方邊緣,並避免光阻堆積在溝槽中

專屬的噴灑設計,能得到最佳化的再現性與清潔度

適用於大至200mm直徑與6吋x6吋見方的基板

Up to 2 separate spray dispense systems to avoid cross contamination

Laptop with Windows 7 operating system and MMC controller software

All process parameters are programmable in the recipe

SUSS MicroTec Developer AS8
詳情: 塗佈

使用噴霧式塗佈時,噴嘴會將欲塗抹的溶液噴在晶圓上。優化後的晶圓上方噴嘴移動路徑確保基板上塗層的均勻。 噴霧所用的液體通常粘度極低,能確保形成細小的液滴。
噴霧式塗佈即使在凹凸圖形上也能形成均勻的塗層,因此為該結構的第一選擇。噴霧式塗佈亦能噴塗方形基板。

特色與優點

  • 即使在崎嶇結構的表面上亦能形成均勻的表面塗層

Available for:

Automated Coater and Developer

Semi-Automated Coater

Product Portfolio 1000kb
Publications

Optimizing Spray Coater Process Parameters

Optimizing Spray Coater Process Parameters

Optimizing Spray Coating Yield and Throughput

Optimizing Spray Coating Yield and Throughput

Technical Publications
Service