AS8 and AS12 Coater

適用於高表面崎嶇的手動噴霧式光阻塗佈機

SUSS所開發的新型AltaSpray塗佈技術,使用一種能夠在不同的3D微結構上沈積高解析度光阻膜的創新光阻沈積方法,其可以確保在不同的結構,如90°的角落、KOH蝕刻洞、V形溝槽或透鏡上維持一致性的等角塗佈。

AS8/AS12光阻塗佈機可提供所有一般的實驗室與試產需求。它是一台適用於從幾微米到高達600微米或更高表面崎嶇的3D微結構製造上的理想設備。

SUSS AS8/AS12光阻塗佈機也能夠運用在量產應用上

亮点

適用於在嚴重的表面崎嶇差異上形成圖樣的促成科技

能夠可靠地覆蓋上方邊緣,並避免光阻堆積在溝槽中

專屬的噴灑設計,能得到最佳化的再現性與清潔度

適用於大至200mm直徑與6吋x6吋見方的基板

Up to 2 separate spray dispense systems to avoid cross contamination

Laptop with Windows 7 operating system and MMC controller software

All process parameters are programmable in the recipe

SUSS MicroTec Developer AS8
詳情: 塗佈

使用噴霧式塗佈時,噴嘴會將欲塗抹的溶液噴在晶圓上。優化後的晶圓上方噴嘴移動路徑確保基板上塗層的均勻。 噴霧所用的液體通常粘度極低,能確保形成細小的液滴。
噴霧式塗佈即使在凹凸圖形上也能形成均勻的塗層,因此為該結構的第一選擇。噴霧式塗佈亦能噴塗方形基板。

特色與優點

  • 即使在崎嶇結構的表面上亦能形成均勻的表面塗層

Available for:

Automated Coater and Developer

Semi-Automated Coater

Product Portfolio 990kb
Technical Publications
Service