MCS8 Belacker & Entwickler

Der LabCluster für Labore, Start-Ups und Kleinserienproduktion

Die Manuelle Belacker-System (MCS8) von SÜSS MicroTec vereint die neueste Technologie von Belackern und wasserbasierten Entwicklern in einer einzigartigen Cluster-Konfiguration. Ihre Konstruktion bietet auf kleinster Reinraumfläche die größte Vielfalt an Funktionalitäten. Mit dem MCS8 sind Technologien für Labore, Start-up-Unternehmen und für die Kleinserienproduktion zugänglich, die sich bereits im SÜSS MicroTecs Produktionsmaschinen für die Massenfertigung bewährt haben.

Highlights

Minimaler Platzbedarf im Reinraum

Große Auswahl an Modulen und Funktionen

Flexible Konfiguration mit über 500 Varianten

Jeweils ein Ver- und ein Entsorgungssystem

Bewährte Technologie aus SÜSS MicroTec Produktionsequipment

Für das MCS8 lassen sich verschiedene Module in konfigurierbaren Rahmen miteinander kombinieren. Kunden wählen die gewünschten Module entsprechend ihren individuellen Anforderungen aus der breiten Palette der manuellen und halbautomatischen Beschichtungs- und wasserbasierten Entwicklungsanlagen von SÜSS MicroTec aus. Zu den Optionen gehören SÜSS LabSpin8, SÜSS Hot Plate, SÜSS Vapor Primer sowie die SÜSS Cool Plate mit aktiver Kühlfunktion. Jeweils zwei Einzelmodule können hintereinander angeordnet werden, wodurch eine optimale Nutzung der Reinraumfläche ermöglicht wird. Das rückwärtige Modul ist leicht erhöht zum vorderen angeordnet, so dass der Bediener optimalen Zugriff auf die Anlage hat.

Alle Module können optional mit zusätzlichen Funktionen wie automatischen Dispenssystemen für LabSpins oder Proximity-Pins für Hot-Plates ausgestattet werden. Das MCS8 LabCluster ist in einer Aufstellung von bis zu sechs anpassbaren Rahmen erhältlich, welche jeweils zwei Module integrieren. Damit lassen sich insgesamt bis zu zwölf Module kombinieren und bieten somit die Möglichkeit der ganzheitlichen Prozesslösung.

Durch die Erweiterung des Clusters um modernste Belacker- und Entwicklertechnologie mit bis zu zwei Tools, wie der RCD8 oder AS8, ermöglicht das MCS8 ein breites Spektrum von Anwendungen für MEMS, III-V, Elektronenstrahllithografie, temporäres Bonden, Nanoimprinten, Mikrofluidics sowie Microoptics. Kunden können das MCS8 auf vielfältige Weise konfigurieren und dabei von SÜSS MicroTecs langjähriger Erfahrung profitieren.

Verfügbare Optionen beinhalten:

  • Unterschiedlichste Dosiersysteme für Coater
  • Proximity-pins und N2-Spüloptionen für Hot-Plates
  • Temperaturkontrolle für Developer
  • Große Auswahl an Chucks
  • Einheitliches Entsorgungssystem

Tools & OptionEN

RCD8

Die halbautomatische Beschichtungs- und Entwicklerplattform liefert höchste Prozessqualität bei maximaler Zuverlässigkeit und Wiederholgenauigkeit.

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AS8

Das Sprühbelackungstool für hohe Topografien kann mit bis zu zwei separaten Sprühdüsensystemen ausgestattet werden.

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HP8

Eine homogene Temperaturverteilung sowie eine Heizrampe mit hoher Wiederholgenauigkeit sorgen für konstante und stabile Prozessergebnisse.

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LabSpin8

LabSpin Systeme ermöglichen ein breites Spektrum von Anwendungen und liefern gleichmäßige, präzise und wiederholbare Ergebnisse beim Belacken rotierender Substrate.

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Vapor Primer

Der Vapor-Primer bereitet die Waferoberfläche vor, um die ihre Beschaffenheit für eine optimale Lackhaftung zu verbessern.

Cool Plate

Die Cool Plate mit rezeptbasierter, aktiver Kühlfunktion hat eine geschlossene Kühlkammer, die eine Kontamination auf dem Wafer verhindert.

Downloads
Datenblatt MCS8 794kb
SÜSS Produktportfolio 2277kb
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