Prozesstechnologien

Für eine kosteneffiziente Herstellung von leistungsfähigen multifunktionalen Mikrochips rücken bei der Produktionsplanung innovative Prozesstechnologien in den Vordergrund. Durch eine sorgfältige Auswahl an geeigneten Methoden lassen sich Produktionsprozesse in ihrer Effizienz deutlich steigern, die Ausbeute erhöhen und die Gesamtproduktionszeit verkürzen. Die Anlagen von SÜSS MicroTec zeichnen sich durch eine hohe Prozessflexibilität aus. Sie unterstützen eine Vielzahl von Prozessen und lassen sich einfach umrüsten.

Welche Prozesse eignen sich für die Herstellung Ihrer Produkte?

Es ist unser Anspruch, kompetent zu beraten und sicherzustellen, dass sich unsere Kunden mit unseren Produkten erfolgreich in ihren Märkten behaupten. Um den Bedarf an Prozessunterstützung und Machbarkeitsstudien weltweit zu bedienen, unterhält SÜSS MicroTec regionale Anwendungslabors. Hochqualifizierte Prozessexperten stehen unseren Kunden bei der Lösung komplexer Aufgaben mit Kompetenz und Erfahrung zur Seite.

Justierung

  • Oberseitenjustierung
  • Rückseitenjustierung
  • Infrarotjustierung

Belichtung

  • Schattenwurfverfahren

Belackung

  • Rotationsbeschichtung
  • Sprühbelackung

Entwicklung

  • Puddle-Entwicklung
  • Sprühentwicklung

Tintenstrahldruck

  • Tintenstrahldruck

Bonden

  • Adhäsiv
  • Anodisch
  • Eutektisch
  • Glasfritt
  • Hybrid-Bonden
  • Metalldiffusion
  • SLID
  • Fusionsbonden
  • Mechanisches Debonden

Temporäres Bonden

  • Temporäres Bonden
  • Mechanisches Debonden
  • Laser-Debonden

Imprint-Lithographie

  • Imprint-Lithografie
  • SCIL
  • SMILE

Plasmaaktivierung

  • Plasmaaktivierung
  • Wafer-Präparation für Fusionsbondprozesse

Fotomaskenbearbeitung

  • Fotomaskenbearbeitung
  • Oberflächenaufbereitung
  • Erhaltung einer reinen Oberfläche
  • Nassreinigung