DSC500 Projektions-Scanner

Die halbautomatische Projektionslithografie-Plattform DSC500 von SÜSS Microtec unterstützt Substratgrößen bis zu 450mmx500mm.

Ausgestattet mit einer Vollfeldmaske und einer Breitbandprojektionsoptik belichtet der Scanner Wafer und Substrat in einem Belichtungsschritte ab.  In das Design des Maskenlayouts lassen sich bereits zusätzliche Funktionen wie die Belichtung der Ränder integrieren – ein wichtiges Kriterium für die Effizienz bei Packaging-Prozessen.

Highlights

1:1-Breitband Projektionsoptik (Wynn Dyson)

Wafer/Substrate Größen bis zu 450mm x 500mm

Variable NA von 0.07 bis 0.14

Auflösung <3µm

Justiergenauigkeit <1µm

Manuelles oder automatisches Materialhandling

SUSS MicroTec Projection Scanner DSC500

Bei der Projektionsbelichtung wird die Maske zum Wafer ausgerichtet und das Maskenmuster anschließend mittels Optik zwischen Maske und Wafer auf den Wafer projiziert. Typischerweise wird dabei lediglich ein Teil des Wafers belichtet. Durch die schrittweise Wiederholung (Step and Repeat) oder ein stufenloses Verfahren (Scanning) wird der komplette Wafer belichtet. Typ und Charakteristik der Projektionsoptik entscheidet über Auflösung und Schärfentiefe und somit über die Leistungsfähigkeit der Belichtung.

Die Projektionsscanner-Technologie von SÜSS MicroTec kombiniert Vorteile der Vollfeldbelichtung mit denen der klassischen Projektionslithographie und bietet eine Alternative zu Mask Alignern und klassischen Projektions-Steppern. Beim Projektionsscannen wird eine Vollfeldmaske über dem Substrat justiert und durch einen Scan-Vorgang auf das Substrat projiziert. Verglichen mit Steppern erreicht die Scan-Technologie einen höheren Durchsatz bei geringeren Systemkosten und Auflösungen von bis zu 3µm.

Projektionsscannen ist vorteilhaft vor allem bei Prozessen, die hohe Auflösungen erfordern, oder bei Prozessen mit hohen Topografien und dicken Fotolacken.

Highlights

  • Kosteneffektive Projektionslösung mit überragender Auflösung bis zu 3 µm
  • Steile Lackflanken bei Dicklack Prozessen

Verfügbar in:

Automatische Projektions-Scanner

Halbautomatische Projektions-Scanner

Downloads
DSC500 Datenblatt 518kb
SÜSS Produktportfolio 990kb
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